液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩Ｒ涵h(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機(jī)相似。當(dāng)工作液體為水時(shí)，稱水環(huán)式真空泵，水環(huán)真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670 Pa。通?？偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡(jiǎn)單統(tǒng)稱為微型真空泵。醫(yī)用真空泵經(jīng)銷商

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。小型真空泵廠家真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵。

抽氣量是真空泵抽速的一個(gè)衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來(lái)表示。是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解，理論下抽一個(gè)相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無(wú)法抽到我們想要的真空度? 因?yàn)楣苈坊蛘呷萜魇冀K不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補(bǔ)了漏氣所帶來(lái)的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計(jì)算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級(jí)的抽氣量的真空泵。

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu)，泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。臥式往復(fù)真空泵一般為有油式，立式多為無(wú)油式。

水環(huán)真空泵在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。DC線性驅(qū)動(dòng)活塞真空泵廠商

真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的，其一是不能含有大量的水，其二是不能含有有機(jī)化合物。醫(yī)用真空泵經(jīng)銷商

通?？偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡(jiǎn)單統(tǒng)稱為微型真空泵，但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的，選型時(shí)更要特別注意。簡(jiǎn)而言之，氣體采樣泵只能帶小負(fù)載（即：泵抽氣端阻力不能太大），但價(jià)格便宜；嚴(yán)格意義上的微型真空泵可以帶大負(fù)載（抽氣端允許大阻力，甚至完全堵塞），但價(jià)格稍貴。氣體采樣泵有：PM系列（具體型號(hào)如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。醫(yī)用真空泵經(jīng)銷商