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北京進(jìn)口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-13

   Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的子公司,開發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機(jī)以及光敏材料和工藝解決方案。其口號(hào)是:“我們讓小物件變得重要”,公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術(shù),對(duì)智能手機(jī)、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品。通過基于雙光子聚合(2PP)的3D打印機(jī)投入市場(chǎng),他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案,致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級(jí)3D打印光學(xué),甚至利用他們的技術(shù)來開發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備,例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性,我們的客戶正在微加工的前沿工作?!凹{米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收,這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程?;叶裙饪碳夹g(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合。北京進(jìn)口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

北京進(jìn)口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng),灰度光刻

微納3D打印其實(shí)和與灰度光刻有點(diǎn)相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢(shì)是可以完全按照設(shè)計(jì)獲得想要的結(jié)構(gòu),對(duì)于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對(duì)于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進(jìn)行后續(xù)的復(fù)制工作,并通過納米壓印技術(shù)進(jìn)行復(fù)制?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計(jì)算機(jī)控制激光束或者電子束劑量從而達(dá)到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,八邊金字塔結(jié)構(gòu))。微透鏡陣列也是類似,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)。高分辨率灰度光刻激光直寫靈活性高:由于無需制作實(shí)體掩膜版,無掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案,方便進(jìn)行試制和修改。

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近年來,利用雙光子聚合對(duì)聚合物類傳統(tǒng)光刻膠的3D飛秒激光打印技術(shù)已日臻成熟,其高精度、高度可設(shè)計(jì)性和維度可控性已經(jīng)在平行技術(shù)中排名在前。與此同時(shí),如何更有效地將微納結(jié)構(gòu)功能化,也逐漸成為各種微納加工技術(shù)的研究重點(diǎn)。在現(xiàn)階段,對(duì)于3D飛秒激光打印技術(shù)而言,具體來說就是利用其加工的高度可設(shè)計(jì)性來實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的功能化和芯片化,并使這些結(jié)構(gòu)能夠更好地集成器件,從而達(dá)到理想的應(yīng)用目的。微凹透鏡陣列結(jié)構(gòu)是光學(xué)器件中的一種常見組件,具有較強(qiáng)的聚焦和成像能力。以往制備此類結(jié)構(gòu)的方法有熱回流、灰度光刻、干法刻蝕和注射澆鑄等。受加工手段的限制,傳統(tǒng)的微透鏡陣列往往是在1個(gè)平板襯底上加工出一系列相同尺寸的凹透鏡結(jié)構(gòu),這樣的1組微透鏡陣列無法將1個(gè)平面物體聚焦至1個(gè)像平面上,會(huì)產(chǎn)生場(chǎng)曲。

這款灰度光刻設(shè)備還具備智能化的特點(diǎn)。它配備了先進(jìn)的自動(dòng)化控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)和監(jiān)控,減少了人工操作的需求,提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和可靠性。同時(shí),設(shè)備還具備故障自診斷和遠(yuǎn)程監(jiān)控功能,及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決問題,減少了生產(chǎn)線的停機(jī)時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。這款設(shè)備還具備良好的適應(yīng)性和可擴(kuò)展性。它可以適應(yīng)不同材料和工藝的加工需求,為我們的生產(chǎn)線提供了更大的靈活性。同時(shí),設(shè)備還支持模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)需要進(jìn)行擴(kuò)展和升級(jí),滿足我們未來的生產(chǎn)需求。這款全新的灰度光刻設(shè)備為我們的生產(chǎn)線帶來了巨大的改變。它的精度、穩(wěn)定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求,提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。我們相信,有了這款設(shè)備的加入,我們的公司將迎來更加美好的未來?;叶裙饪碳夹g(shù)可提高光刻膠的分辨率。

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QuantumXbio是具有高分辨率的多功能生物打印系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有的**技術(shù)是以雙光子聚合(2PP)為關(guān)鍵,以出色的工程設(shè)計(jì)為基礎(chǔ),通過生物學(xué)家的想法定制并且重新設(shè)計(jì)的。作為2019年推出的First臺(tái)雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,該生物打印系統(tǒng)具有精確的溫度控制、無菌的工作環(huán)境和功能化的生物材料等特點(diǎn),可讓生物打印達(dá)到一個(gè)新的高度,并有效加速組織工程、細(xì)胞生物學(xué)和方方面面生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等關(guān)鍵應(yīng)用的創(chuàng)新。實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠表面深度的精確控制,從而制備出更加復(fù)雜和精細(xì)的微納結(jié)構(gòu)。德國(guó)高精度灰度光刻

Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您了解微納3D打印和灰度光刻技術(shù)的區(qū)別。北京進(jìn)口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計(jì)自由度。Quantum X shape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要,這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義。全新Quantum X shape作為Nanoscribe工業(yè)級(jí)無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X產(chǎn)品系列的第二臺(tái)設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)在25 cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),很大程度推動(dòng)了生命科學(xué),微流體,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動(dòng)分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。北京進(jìn)口灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

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