我們往往需要通過(guò)灰度光刻的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)微透鏡陣列結(jié)構(gòu)，灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版（掩膜接觸式光刻）或者計(jì)算機(jī)控制激光束或者電子束劑量從而達(dá)到在某些區(qū)域完全曝透，而某些區(qū)域光刻膠部分曝光，從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)（如下圖4所示，八邊金字塔結(jié)構(gòu)）。微透鏡陣列也是類(lèi)似，可以通過(guò)劑量分布的控制來(lái)控制其輪廓形態(tài)。需要注意，灰度光刻方法獲得的微透鏡陣列的表面粗糙度相比于熱回流和噴墨法獲得的透鏡要大的多，約為Ra=100nm，前兩者可以會(huì)的Ra=50nm的球面?；叶裙饪踢x擇納糯三維科技（上海）有限公司。重慶進(jìn)口灰度光刻3D打印

   Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復(fù)合物，或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。微米級(jí)增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計(jì)的上限，借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能，可以輕松實(shí)現(xiàn)球形，非球形，自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作，并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件（DOE），并且滿(mǎn)足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻，刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。北京進(jìn)口灰度光刻技術(shù)靈活性高：由于無(wú)需制作實(shí)體掩膜版，無(wú)掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案，方便進(jìn)行試制和修改。

   Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）的子公司，開(kāi)發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機(jī)以及光敏材料和工藝解決方案。其口號(hào)是：“我們讓小物件變得重要”，公司創(chuàng)始人開(kāi)發(fā)出一種技術(shù)，對(duì)智能手機(jī)、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品。通過(guò)基于雙光子聚合（2PP）的3D打印機(jī)投入市場(chǎng)，他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案，致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級(jí)3D打印光學(xué)，甚至利用他們的技術(shù)來(lái)開(kāi)發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備，例如用于類(lèi)固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說(shuō)法，“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無(wú)掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制，QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù)，克服了這些限制，提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性，我們的客戶(hù)正在微加工的前沿工作?！凹{米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收，這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過(guò)程。

QuantumXbio是具有高分辨率的多功能生物打印系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有的**技術(shù)是以雙光子聚合（2PP）為關(guān)鍵，以出色的工程設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)，通過(guò)生物學(xué)家的想法定制并且重新設(shè)計(jì)的。作為2019年推出的First臺(tái)雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品，該生物打印系統(tǒng)具有精確的溫度控制、無(wú)菌的工作環(huán)境和功能化的生物材料等特點(diǎn)，可讓生物打印達(dá)到一個(gè)新的高度，并有效加速組織工程、細(xì)胞生物學(xué)和方方面面生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等關(guān)鍵應(yīng)用的創(chuàng)新。灰度光刻技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的微納米結(jié)構(gòu)制造，滿(mǎn)足日益增長(zhǎng)的微電子和光電子器件對(duì)精確結(jié)構(gòu)的需求。

超高速灰度光刻技術(shù)是一項(xiàng)帶領(lǐng)科技發(fā)展的重大突破，為我們帶來(lái)了無(wú)限可能。這項(xiàng)技術(shù)的出現(xiàn)，將徹底改變我們對(duì)光刻的認(rèn)知，為各行各業(yè)帶來(lái)了巨大的創(chuàng)新機(jī)遇。超高速灰度光刻技術(shù)主要是利用高能激光束對(duì)材料進(jìn)行精確的刻蝕，從而實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的精細(xì)加工。相比傳統(tǒng)的光刻技術(shù)，超高速灰度光刻技術(shù)具有更高的加工速度和更精確的刻蝕效果。這意味著我們可以在更短的時(shí)間內(nèi)完成更復(fù)雜的加工任務(wù)，提高了生產(chǎn)效率。超高速灰度光刻技術(shù)在電子、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。在電子領(lǐng)域，它可以用于制造更小、更快的芯片和電路板，推動(dòng)電子產(chǎn)品的迭代升級(jí)。在光電子領(lǐng)域，它可以用于制造高精度的光學(xué)元件，提高光學(xué)設(shè)備的性能。在生物醫(yī)藥領(lǐng)域，它可以用于制造微型生物芯片和生物傳感器，實(shí)現(xiàn)更精確的醫(yī)學(xué)診斷?；叶裙饪碳夹g(shù)可提高光刻膠的分辨率。吉林高分辨率灰度光刻3D光刻

Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司帶您了解微納3D打印和灰度光刻技術(shù)的區(qū)別。重慶進(jìn)口灰度光刻3D打印

   Nanoscribe成立于2007年，總部位于德國(guó)卡爾斯魯厄，擁有卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）的技術(shù)背景和卡爾蔡司公司的支持。經(jīng)過(guò)十幾年的不斷研究和成長(zhǎng)，Nanoscribe已成為微納米生產(chǎn)的先驅(qū)和3D打印市場(chǎng)的帶領(lǐng)者，推動(dòng)著諸如力學(xué)超材料，微納機(jī)器人，再生醫(yī)學(xué)工程，微光學(xué)等創(chuàng)新領(lǐng)域的研究和發(fā)展，并提供優(yōu)化制程方案。全新的QuantumX無(wú)掩模光刻系統(tǒng)能夠數(shù)字化制造高精度2維和。作為世界上頭一個(gè)雙光子灰度光刻系統(tǒng)，在充分滿(mǎn)足設(shè)計(jì)自由的同時(shí)，一步制造具有光學(xué)質(zhì)量表面以及高形狀精度要求的微光學(xué)元件，達(dá)到所見(jiàn)即所得。重慶進(jìn)口灰度光刻3D打印