區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長;后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏?這是由于硅的熔點(diǎn)高,化學(xué)性能活潑,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來盛方,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于:區(qū)熔法一般不使用坩鍋,引入的雜質(zhì)更少,生長的材料雜質(zhì)含量也就更少??偠灾瑔尉Ч璋羰菆A柱形的,使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎?Bingo,圖左的尖尖是籽晶,圖右的尖尖是晶棒長到***,從熔融態(tài)里出來后,由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的。 所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。無錫直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠
半導(dǎo)體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機(jī)械手有時輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高。晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 無錫直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠在運(yùn)動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運(yùn)動輕快、平穩(wěn)。
可選地,所述托板包括:
主板;
排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接;
所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。
可選地,所述表面為平面。
另外,本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。
在本實用新型的技術(shù)方案中,機(jī)械手臂傳送晶圓時,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。
通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細(xì)描述,本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會變得清楚。
晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一,其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械手:大氣機(jī)械手(FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上,工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上取下,搬運(yùn)到各個工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工,并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置,等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,控制精度和可靠性要求極高。機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動操作裝置。
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高,**終兩市**以中陽報收。
昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢,果不其然***出現(xiàn)了此消彼長的情形。
盤面上看,市場***科技股再度走強(qiáng),以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進(jìn)行做多,北上資金***依舊大幅凈流入,市場短期做多的因素和動能正在疊加。
盤后出了條消息,“中方不會坐視不理美科技霸凌主義”,先機(jī)哥由此猜測市場短期的反彈將還是延著科技股這條主線,畢竟帶動市場人氣方面沒有哪個板塊比科技股更適合。
昨晚提醒大家關(guān)注的科遠(yuǎn)智慧,***低開高走收大陽,開盤后水下潛入的朋友也有7個點(diǎn)的收獲,該股短期有望突破創(chuàng)新高。
根據(jù)機(jī)械手運(yùn)動和工作的要求,如管路、冷卻裝置、行程定位裝置和自動檢測裝置等.無錫直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠
各支承、連接件的剛性也要有一定的要求,以保證能承受所需要的驅(qū)動力。無錫直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠
裝配機(jī)械人 ;這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度,手腕具有較大的柔性。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂、探海用機(jī)械臂以及排險作業(yè)機(jī)械臂等。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征,按這一類標(biāo)準(zhǔn),機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型,圓柱坐標(biāo)型,球(極)坐標(biāo)型、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂(或擬人機(jī)械臂)。操作機(jī)本身的軸數(shù)(自由度數(shù))**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力,也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求,機(jī)械臂可分為4軸(自由度)、5軸(自由度)、6軸(自由度)、7軸(自由度)等機(jī)械臂。還有其它多種分類方式。基本介紹工業(yè)設(shè)計工業(yè)機(jī)械人通常由六項基本元素所組成,包括:結(jié)構(gòu),臂端工具,電腦數(shù)碼控制器,驅(qū)動器,量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器。無錫直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠
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