優(yōu)先選擇地，所述機(jī)架上還設(shè)置有加熱裝置，所述加熱裝置至少包括高溫加熱機(jī)構(gòu)，所述高溫加熱機(jī)構(gòu)位于所述測(cè)試裝置的上方，所述高溫加熱機(jī)構(gòu)包括高溫加熱頭、頭一移動(dòng)機(jī)構(gòu)及下壓機(jī)構(gòu)，所述下壓機(jī)構(gòu)與所述頭一移動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述高溫加熱頭與所述下壓機(jī)構(gòu)相連。優(yōu)先選擇地，所述加熱裝置還包括預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)，所述預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)位于所述自動(dòng)上料裝置與所述測(cè)試裝置之間，所述預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)包括預(yù)加熱工作臺(tái)，所述預(yù)加熱工作臺(tái)上設(shè)有多個(gè)預(yù)加熱工位。不同的性能指標(biāo)需要對(duì)應(yīng)的測(cè)試方案才能完成芯片質(zhì)量的篩選。安徽芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)

本發(fā)明在另一實(shí)施例中公開(kāi)一種芯片測(cè)試機(jī)的測(cè)試方法。該測(cè)試方法包括以下步驟：將多個(gè)待測(cè)試芯片放置于多個(gè)tray盤(pán)中，每一個(gè)tray盤(pán)中放置多個(gè)待測(cè)試芯片，將多個(gè)tray盤(pán)放置于自動(dòng)上料裝置，并在自動(dòng)下料裝置及不良品放置臺(tái)上分別放置一個(gè)空tray盤(pán)；移載裝置從自動(dòng)上料裝置的tray盤(pán)中取出待測(cè)試芯片移載至測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試；芯片測(cè)試完成后，移載裝置將測(cè)試合格的芯片移載至自動(dòng)下料裝置的空tray盤(pán)中，將不良品移載至不良品放置臺(tái)的空tray盤(pán)中；當(dāng)自動(dòng)上料裝置的一個(gè)tray盤(pán)中的待測(cè)試芯片全部完成測(cè)試，且自動(dòng)下料裝置的空tray盤(pán)中放滿測(cè)試合格的芯片后，移載裝置將自動(dòng)上料裝置的空tray盤(pán)移載至自動(dòng)下料裝置。廣東CPU芯片測(cè)試機(jī)廠商設(shè)計(jì)公司主要目標(biāo)是根據(jù)市場(chǎng)需求來(lái)進(jìn)行芯片研發(fā)，在整個(gè)設(shè)計(jì)過(guò)程中，需要一直考慮測(cè)試相關(guān)的問(wèn)題。

芯片測(cè)試機(jī)是一種專門(mén)用來(lái)檢測(cè)芯片的工具。它可以在生產(chǎn)中測(cè)試集成電路芯片的功能和性能，來(lái)確保芯片質(zhì)量符合設(shè)計(jì)要求。芯片測(cè)試機(jī)的主要作用是對(duì)芯片的電學(xué)參數(shù)和邏輯特性進(jìn)行測(cè)量，然后按照預(yù)定規(guī)則進(jìn)行對(duì)比，從而對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行評(píng)估。芯片測(cè)試機(jī)常見(jiàn)的用途是測(cè)試運(yùn)行紋理陣列器（FPGA）和應(yīng)用特定集成電路（ASIC）。FPGA作為可編程芯片，通常是初步設(shè)計(jì)，測(cè)試和驗(yàn)證過(guò)程中關(guān)鍵的部分。ASIC則是根據(jù)設(shè)定的電路、電子設(shè)備和/或存儲(chǔ)器進(jìn)行硬件配置的特定集成電路。

常見(jiàn)的測(cè)試手段，CP（Chip Probing）測(cè)試和FT（Final Test）測(cè)試：CP測(cè)試。芯片測(cè)試分兩個(gè)階段，一個(gè)是CP（Chip Probing）測(cè)試，也就是晶圓（Wafer）測(cè)試。另外一個(gè)是FT（Final Test）測(cè)試，也就是把芯片封裝好再進(jìn)行的測(cè)試。CP（Chip Probing）指的是晶圓測(cè)試。CP測(cè)試在整個(gè)芯片制作流程中處于晶圓制造和封裝之間。晶圓（Wafer）制作完成之后，成千上萬(wàn)的裸DIE（未封裝的芯片）規(guī)則的分布滿整個(gè)Wafer。由于尚未進(jìn)行劃片封裝，芯片的管腳全部裸露在外，這些極微小的管腳需要通過(guò)更細(xì)的探針臺(tái)來(lái)與測(cè)試機(jī)臺(tái)連接。Test Program測(cè)試程序，測(cè)試機(jī)通過(guò)執(zhí)行一組稱為測(cè)試程序的指令來(lái)控制測(cè)試硬件。

而probe card則換成了load board,其作用是類(lèi)似的，但是需要注意的是load board上需要加上一個(gè)器件—Socket,這個(gè)是放置package device用的，每個(gè)不同的package種類(lèi)都需要不同的socket，如下面圖（7）所示，load board上的四個(gè)白色的器件就是socket。Handler 必須與 tester 相結(jié)合(此動(dòng)作叫 mount 機(jī))及接上interface才能測(cè)試, 動(dòng)作為handler的手臂將DUT放入socket，然后 contact pusher下壓, 使 DUT的腳正確與 socket 接觸后, 送出start 訊號(hào), 透過(guò) interface 給 tester, 測(cè)試完后, tester 送回 binning 及EOT 訊號(hào); handler做分類(lèi)動(dòng)作。集成電路測(cè)試通常分為晶圓測(cè)試（CP）、成品測(cè)試（FT）和可靠性測(cè)試（BurnInTest）等。湖北半導(dǎo)體芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)

芯片測(cè)試機(jī)是由電子系統(tǒng)組成的，通過(guò)產(chǎn)生信號(hào)建立適當(dāng)?shù)臏y(cè)試模式,按正確按順序設(shè)置,然后來(lái)驅(qū)動(dòng)芯片檢測(cè)。安徽芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)

傳統(tǒng)的芯片測(cè)試，一般由測(cè)試廠商統(tǒng)一為芯片生產(chǎn)廠商進(jìn)行測(cè)試。隨著越來(lái)越多的芯片公司的誕生，芯片測(cè)試需求也日益增多。對(duì)于成熟的大規(guī)模的芯片廠而言，由于其芯片產(chǎn)量大，往往會(huì)在測(cè)試廠商的生產(chǎn)計(jì)劃中占據(jù)一定的優(yōu)勢(shì)。而對(duì)于小規(guī)模的芯片廠的小批量芯片而言，其往往在測(cè)試廠的測(cè)試計(jì)劃中無(wú)法得到優(yōu)先選擇處理，從而導(dǎo)致芯片測(cè)試周期變長(zhǎng)。當(dāng)前芯片測(cè)試廠的測(cè)試設(shè)備多為大型設(shè)備，可以滿足大批量的芯片測(cè)試的需求。如果該大型測(cè)試設(shè)備用于小批量的芯片的測(cè)試，則會(huì)造成資源的浪費(fèi)。而且現(xiàn)有的大型測(cè)試設(shè)備往往都是多個(gè)測(cè)試單元并行測(cè)試，以達(dá)到提高測(cè)試效率的目的，從而導(dǎo)致了該設(shè)備的體積較大，占地空間多，無(wú)法靈活移動(dòng)。安徽芯片測(cè)試機(jī)平臺(tái)