根據(jù)探針測試需要，XY 精密工作臺的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設計時，為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動，全閉環(huán)運動控制；整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設計尺寸，XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導軌等外購件，選型號時，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求，需要對相應外購件加裝特制 密封罩。探針臺的建設和運行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴謹性。深圳12寸探針臺平臺

探針臺的基本組件，探針臺由六個基本組件組成：Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設備接觸。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上，它們直接接觸設備。光學 - 用于查看和放大被測設備和探頭先進。它是如何工作的？探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。深圳12寸探針臺平臺探針臺是在地球表面建立的觀測站，旨在收集宇宙射線、電磁波等信息。

探針臺在使用過程中，不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。操作人員必須嚴格按要要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺應放在穩(wěn)定可靠的臺面上，較好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

半自動型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y電動移動行程200mm/150mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡，針座擺放個數(shù)6～8顆，顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"，可搭配Probe card測試，適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金），X,Y電動移動行程300mm x 300mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡，針座擺放個數(shù)8～12顆，顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“，材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼，可搭配Probe card測試，適用領域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。探針臺需要高度的保密性和安全措施。

8英寸手動探針臺用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，研發(fā)人員一般會采用萬用電表的表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件（如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector），萬用表點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來，便于其電性測試設備（不屬于本機器）對此測試、分析。探針臺是推進太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。上海8寸探針臺生產(chǎn)廠家

探針臺在天文學研究中具有舉足輕重的作用。深圳12寸探針臺平臺

探針臺是晶圓輸送與定位任務的承擔者，檢測半導體芯片電、光參數(shù)的關鍵設備。CP 測試環(huán)節(jié)中，探針臺首先將晶圓移動至晶圓相機下，確定晶圓的坐標位置；再將探針相機 移動至探針卡下，確定探針卡的坐標位置，當確定二者位置后，即通過載片臺將晶圓移動 至探針卡下實現(xiàn)對針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺、RF 探針臺、LCD &TEG探針臺、光電探針臺等，當晶圓依次與探針接觸完成測試后，探針臺記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片， 并在進入后序工序前予以剔除，以保障質(zhì)量與可靠性，降低器件的制造成本。深圳12寸探針臺平臺