溫控探針臺(tái)的功能特點(diǎn):1、可編程精密控溫??蓡为?dú)控制,也可從上位機(jī)軟件控制;2、探針需開蓋移動(dòng),樣品臺(tái)面電接地;3、探針分別導(dǎo)通冷熱臺(tái)外殼上的4個(gè)BNC接口;4、杠桿式探針支架,點(diǎn)針力度更大,電接觸性更好;5、彎針探針,點(diǎn)針更精確;6、默認(rèn)氣密腔室,通問2個(gè)快速自鎖接頭,可充保護(hù)氣體;7、上蓋帶有樣品觀察窗;8、臺(tái)體內(nèi)置干燥氣體管道,用于負(fù)溫時(shí)對(duì)視窗的除霜;9、視窗可拆卸與更換,可用不同材質(zhì)窗片實(shí)現(xiàn)不同波段光觀察;10、軟件可拓展性強(qiáng),可提供LabView等語言的SDK;探針臺(tái)是推進(jìn)太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。安徽雙層位移探針臺(tái)工作原理
探針臺(tái)用途,探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。ADVANCED儀準(zhǔn)科技研發(fā)高性價(jià)比手動(dòng)探針臺(tái),普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測(cè)試,從源頭即可監(jiān)控。探針臺(tái)用于對(duì)集成電路、三極管、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征,是研究中不可缺少的基本設(shè)備。探針臺(tái)系統(tǒng)性能指標(biāo),可以實(shí)現(xiàn)通過軟件對(duì)晶片載臺(tái)X,Y,Z,探針臺(tái)可搭載光纖,未來可升級(jí)滿足光電測(cè)試。載物臺(tái)在XY方向:±1pm(0.04mls)分辨率、小于2μm(0.08mls)重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度;在Z方向:5mm(0.19in)的移動(dòng)范圍、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重復(fù)精度.真空溫控探針臺(tái)源頭廠家探針臺(tái)擁有先進(jìn)的天文儀器,可以提供高質(zhì)量的觀測(cè)數(shù)據(jù)。
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類,縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。
探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng):1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放,使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。停電或長期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要**作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。探針臺(tái)的科研成果有助于人類更有效地保護(hù)地球和地球上的所有生命。
總的來說,手動(dòng)探針臺(tái)適合研發(fā)人員使用,半自動(dòng)探針臺(tái)適合初學(xué)者使用,而全自動(dòng)探針臺(tái)適合具有一定經(jīng)驗(yàn)的測(cè)試人員使用。不同類型的探針臺(tái)各有優(yōu)缺點(diǎn),選擇何種探針臺(tái)主要取決于測(cè)試的需求和個(gè)人的技能水平。全自動(dòng)探針臺(tái)是一種全自動(dòng)控制的探針臺(tái),可以在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。相比于半自動(dòng)探針臺(tái),全自動(dòng)探針臺(tái)具有更高的精度和效率,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量的測(cè)試操作。全自動(dòng)探針臺(tái)通常還配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))等功能,以確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。全自動(dòng)探針臺(tái)通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。探針臺(tái)是人類探索宇宙、了解自身的一所寶庫。真空溫控探針臺(tái)源頭廠家
探針臺(tái)的科技成果對(duì)推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動(dòng)人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。安徽雙層位移探針臺(tái)工作原理
除探針臺(tái)外,晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用,可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。 在封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。安徽雙層位移探針臺(tái)工作原理