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來源: 發(fā)布時間:2024-01-11

    多個定位槽沿限位桿的長度方向依次間隔布置。在具體使用時,將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),并通過三根限位桿進行限位固定。可以理解的是,定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,且使得各個晶圓之間具有間隙,以使每個晶圓都能充分清洗。為了簡化設備,本實施例晶圓加工固定裝置還包括傳動機構。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。傳動機構與驅動輪盤和限位盤連接,傳動機構用于同步驅動固定架轉動和片盒架自轉。也即,通過設置傳動機構,使得一個驅動機構可同時驅動固定架和片盒架轉動。具體而言,傳動機構包括行星架,行星架的太陽輪與驅動輪盤連接,且太陽輪的軸線與驅動輪盤的旋轉軸線共線設置。價位合理的高精度共晶機找廠家直銷廣東高精度TO共晶機找泰克光電!遵義高速共晶機源頭廠家

    下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施方式,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖為本發(fā)明實施例提供的晶圓加工固定裝置的示意圖;圖為本發(fā)明實施例通的晶圓加工固定裝置的片盒架的示意圖。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。圖標:-驅動輪盤;-齒圈固定板;-片盒架;-加強桿;-行星輪;-軸承;-限位輪座;-拉桿;-橫向安裝軸;-從動輪盤;-豎向桿;-中心連接軸;-底板;-第二豎向桿;-安裝凸軸;-連接軸;-齒圈;-轉動軸;-導向槽;-定位槽;-限位盤;-固定桿;-轉動桿。遵義高速共晶機源頭廠家COC共晶機“共晶臺采用電流脈沖加熱模塊,設有氮氣保護系統(tǒng)”找泰克光電。

    然而現(xiàn)有的夾取機構一旦夾得不牢固,晶圓就容易從夾取機構上掉落,造成損壞。例如,一旦真空吸盤發(fā)生真空失效的情況,晶圓會從吸盤底部垂直跌落,導致晶圓破損,生產(chǎn)成本較高。技術實現(xiàn)要素:本實用新型的目的是:提供一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構,其結構簡單,能避免晶圓跌落的情況發(fā)生,降低晶圓的損壞率。為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供了一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構,其包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應裝置,所述升降裝置包括升降驅動器和升降板。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述升降驅動器安裝在晶圓視覺檢測機上,所述升降驅動器的輸入端與所述控制系統(tǒng)電連接。

    這種裝置稱為磁控濺射裝置(magnetronsputterapparatus),以高電壓將通入惰性氬體游離,再藉由陰極電場加速吸引帶正電的離子,撞擊在陰極處的靶材,將欲鍍物打出后沉積在基板上。一般均加磁場方式增加電子的游離路徑,可增加氣體的解離率,若靶材為金屬,則使用DC電場即可,若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,導致往后的正離子與之相斥而無法繼續(xù)吸引正離子,所以改為RF電場(因場的振蕩頻率變化太快,使正離子跟不上變化,而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應)即可解決問題。光刻技術定出VIA孔洞沉積第二層金屬,并刻蝕出連線結構。然后,用PECVD法氧化層和氮化硅保護層。光刻和離子刻蝕定出PAD位置。后進行退火處理以保證整個Chip的完整和連線的連接性。好的共晶機批發(fā)/采購找泰克光電。

    濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜。離子刻蝕出布線結構,并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,加熱去除SOG中的溶劑。然后再沉積一層介電質,為沉積第二層金屬作準備。(1)薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,厚度通常小于1um。有絕緣膜、半導體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學反應的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長法、HCVD,PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,PVD溫度低,沒有毒氣問題;CVD溫度高,需達到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),而半導體制程中的金屬導電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴謹?shù)腃VD技術。以PVD被覆硬質薄膜具有度,耐腐蝕等特點。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,達幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達基片。全自動共晶機找泰克光電。遵義高速共晶機源頭廠家

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    本實施例給出的是一個驅動機構通過傳動機構同步驅動固定架和片盒架轉動的形式,自然也可以是固定架單獨驅動,片盒架單獨驅動的形式。但是相比,固定架單獨驅動、片盒架單獨驅動的形式,本實施例晶圓加工固定裝置結構更加簡單、且緊湊。在本實施例晶圓加工固定裝置的片盒架與固定架可以是可拆卸的轉動連接,以方便通過更換片盒架實現(xiàn)不同尺寸的晶圓的清洗。綜上所述,本實施例晶圓加工固定裝置的齒圈固定板和豎向桿安裝在底板上,同時由拉桿連接,構成基本框架,也即安裝座;從動輪盤安裝在豎向桿上,通過連接桿與驅動輪盤連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。構成固定架的轉動部分。遵義高速共晶機源頭廠家

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