探針臺(tái)的基本組件，探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成：Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤(pán)定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上，它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的？探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤(pán)上，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺(tái)能夠觀(guān)測(cè)到宇宙的細(xì)微之處，為人類(lèi)探索宇宙提供了重要的線(xiàn)索。江西探針臺(tái)廠(chǎng)家
GBITEST+MPI 半自動(dòng)探針臺(tái)。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類(lèi)：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針臺(tái)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)的分類(lèi)探針臺(tái)可以按照使用類(lèi)型與功能來(lái)劃分，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。江西探針臺(tái)廠(chǎng)家探針臺(tái)的觀(guān)測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)未來(lái)宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。
探針臺(tái)特性1:裝載部件，令客戶(hù)滿(mǎn)意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開(kāi)始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性2:TTG(一點(diǎn)即到)，更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶(hù)自行定義。晶圓測(cè)試的方式主要是通過(guò)測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的聯(lián)動(dòng)，在測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試機(jī)臺(tái)并不能直接對(duì)待測(cè)晶圓進(jìn)行量測(cè)，而是透過(guò)探針卡（Probe Card）中的探針（Probe）與晶圓上的焊墊（Pad）或凸塊（Bump）接觸而構(gòu)成電性接觸。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶(hù)一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。探針臺(tái)開(kāi)展的研究和觀(guān)測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。
重復(fù)定位探針先進(jìn)的過(guò)程，直到測(cè)試完所有必需的設(shè)備。這個(gè)過(guò)程都可以由操作員手動(dòng)完成，但如果載物臺(tái)和機(jī)械手是電動(dòng)的，并且顯微鏡連接到計(jì)算機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)，那么這個(gè)過(guò)程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺(tái)的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運(yùn)行多個(gè)測(cè)試所需的勞動(dòng)力。作為半導(dǎo)體封測(cè)行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測(cè)試，研發(fā)難度大，國(guó)產(chǎn)化率低，進(jìn)口依賴(lài)度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測(cè)試可靠性與否。探針臺(tái)加工廠(chǎng)家潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。探針臺(tái)是人類(lèi)智慧的結(jié)晶和太空探索的橋梁。福建電學(xué)溫控探針臺(tái)
探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。江西探針臺(tái)廠(chǎng)家
對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇，輕擦定子表面，然后用專(zhuān)門(mén)使用工具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀(guān)察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。江西探針臺(tái)廠(chǎng)家