2CU-3-型管子二條引線中較長(zhǎng)一根是“＋”極。2CU型硅光電二極管使用時(shí)電原理圖見圖⑤（b）。圖中E為反向工作電壓的電源，R-L-是負(fù)載電阻，電信號(hào)就從它的兩端輸出。當(dāng)無(wú)光照時(shí)，R-L-兩端的電壓很?。划?dāng)有光照時(shí)，R-L-兩端的電壓增高，R-L-兩端電壓大小隨光照強(qiáng)弱作相應(yīng)的變化，這樣就將光信號(hào)變成了電信號(hào)。圖⑥所示是實(shí)際應(yīng)用中的簡(jiǎn)單的光電控制線路。其中圖⑥（a）是亮通的光控線路。圖中2CU管是光電接收元件，三極管BG-1-和BG-2-直接耦合組成一級(jí)射極跟隨器?！癑”表示繼電器，它的型號(hào)是JRXB－1型。圖中D-1-是2CP-10-型二極管，它的作用是保護(hù)BG-2-三極管的。當(dāng)有光照射到光電管上時(shí)，光電管內(nèi)阻變小，因此使通過(guò)2CU、R-1-、R-2-的電流變大則R-2-兩端的電壓增大，使BG-1-導(dǎo)通。BG-1-發(fā)射極電流大部分流入BG-2-基極，使BG-2-導(dǎo)通并飽和，這樣繼電器線圈中流過(guò)較大的電流，使繼電器觸點(diǎn)吸合；當(dāng)無(wú)光照時(shí)2CU內(nèi)阻增大，通過(guò)2CU、R-1-、R-2-的電流很小，因此R-2-兩端電壓很小，使BG-1-截止。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳。專注硅光電二極管，智能硬件解決方案-世華高。濱松硅光電二極管電池

    這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥（b）是暗通的光控線路，與圖⑥。a）相比電路中2CU與R-2-的位置對(duì)調(diào)了。當(dāng)有光照時(shí)2CU內(nèi)阻變小。它兩端的壓降減小，這樣使BG-1-截止，BG-2-也截止，繼電器觸點(diǎn)不吸合，當(dāng)無(wú)光照時(shí)2CU的內(nèi)阻增大。它兩端的壓降增大，使BG-1-導(dǎo)通，BG-2-也導(dǎo)通，繼電器觸點(diǎn)吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法：我廠生產(chǎn)的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環(huán)極可按圖①。b）所示來(lái)分辨。2DU型硅光電二極管使用時(shí)電原理圖見圖⑦，2DU管的后極接電源的負(fù)極，環(huán)極接電源的正極，前極通過(guò)負(fù)載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環(huán)極的電位比前極電位高，這樣表面漏電流從環(huán)極流出而不經(jīng)過(guò)前極，使前極暗電流減小，從而提高了管子的穩(wěn)定性。利用2DU型硅光電二極管組成的光控電路見圖⑧所示，電路原理同圖⑥（b），這里不再重述。硅光電二極管的選用如果我們把光電管用于一般的光電控制電路時(shí)，在設(shè)備的體積許可條件下，可以盡量選用光照窗口面積大的管子，如選用2CU-1-，2CU-2-或2DUB等型的管子。2DUA和2CU3型硅光電二極管的體積較小，特別是2DUA類型的管子，外殼寬度只有2毫米。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司。南京國(guó)產(chǎn)硅光電二極管生產(chǎn)廠家硅光電二極管主流供應(yīng)商？世華高！

    4)通過(guò)離子注入分別形成n+保護(hù)環(huán)102和p+有源區(qū)103，間距12～20um；5)熱氧化生成sio2層104)，sio2層上方淀積生長(zhǎng)si3n4層105；6)接連刻掉si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)。

    就是硅光電二極管的反向工作電壓必須大于10伏的原因所在。2．硅光電二極管的光電流、暗電流隨溫度的變化均有變化。在環(huán)境溫度0℃以上，反向工作電壓不變的條件下，環(huán)境溫度變化（25～30）℃時(shí)，硅光電二極管的暗電流將變化10倍，光電流變化10％左右，所以在要求穩(wěn)定性高的電路中要考慮溫度補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題。二、2CU型硅光電二極管在電路中接法：2CU型硅光電二極管在接入電路前先要按產(chǎn)品說(shuō)明書所述來(lái)分清“＋”、“（-）”極。例如2CU-1-和2CU-2-型管子。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。有時(shí)在管殼上靠近“＋”極引線那邊點(diǎn)上色點(diǎn)作為標(biāo)記，也有用管帽邊沿上突起一點(diǎn)作為參考點(diǎn)來(lái)分清“＋”、“-”極（見圖⑤（a））。世華高硅光電二極管讓你體驗(yàn)許多智能化功能！

    以p型離子注入形成有源區(qū)；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層，所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層；所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長(zhǎng)。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法，包括以下操作：1)在襯底上濺射生成高反層；2)高反層開設(shè)刻蝕孔；3)高反層上通過(guò)淀積的方法生長(zhǎng)外延層；4)在外延層上通過(guò)離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū)；5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層，然后在sio2層上方生成si3n4層；6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔，然后濺射金屬，濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極；7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20～100為ohm·cm的低電阻率硅材料；襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸；所述的高反層是由折射率～～，通過(guò)化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成；所述的外延層的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng)；所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入，注入劑量為1e15～2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳。硅光電二極管是現(xiàn)代化工業(yè)自動(dòng)化中重要的二極管之一。南京國(guó)產(chǎn)硅光電二極管生產(chǎn)廠家

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    深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術(shù)：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡(jiǎn)單，響應(yīng)度峰值波長(zhǎng)為940nm，在3dsensor、紅外測(cè)距、光通訊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長(zhǎng)相關(guān)，波長(zhǎng)越長(zhǎng)，入射越深，因此為了提高響應(yīng)度，傳統(tǒng)光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來(lái)提升耗盡區(qū)寬度，從而達(dá)到提高響應(yīng)度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應(yīng)用，光電二極管的響應(yīng)速度要求越來(lái)越高，常規(guī)硅基光電二極管響應(yīng)時(shí)間為納秒級(jí)，已無(wú)法滿足數(shù)據(jù)傳輸率1gbps以上的應(yīng)用場(chǎng)景，因此。濱松硅光電二極管電池