線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。南充認(rèn)可光譜共焦位移傳感器
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。銷售光譜共焦位移傳感器免費咨詢光譜儀信號:當(dāng)樣本移動時,在被測量的范圍內(nèi),不同距離下的回光在光譜儀的波長和重心發(fā)生了變化。
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。
傳統(tǒng)的光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組,準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,通過準(zhǔn)直透鏡組對反射光進行準(zhǔn)直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高,在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心,有利于后續(xù)對各色光進行色散。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。
相比于接觸式測量技術(shù),光譜共焦的超細測量光斑的特性使得其能夠覆蓋比較寬的粗糙度測量范圍,亞微米級別的測量精度則可以滿足大部分的粗糙度測量精度需求,而其10kHz以上的采樣頻率更是能夠幫助提高測量的節(jié)拍速度,從而使得線粗糙度和面粗糙度的測量都能夠得到快速解決。與之觸針式傳感器相比,創(chuàng)視智能的光譜共焦傳感器無需維護的耗材配件,并且對被測樣品表面無損傷,并且整體的體積結(jié)構(gòu)可以做得更加輕便小巧,具有明顯的優(yōu)勢。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個領(lǐng)域。哈爾濱光譜共焦位移傳感器調(diào)試
該傳感器利用光路中的光譜信息實現(xiàn)對位移的測量。南充認(rèn)可光譜共焦位移傳感器
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述機殼設(shè)置有兩層,所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,所述感光元件位于所述機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,所述提示組件包括有:發(fā)光件,所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護套,所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。南充認(rèn)可光譜共焦位移傳感器