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非接觸式光譜共焦推薦

來源: 發(fā)布時間:2024-07-21

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間?,F在,我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現已經通過測試和驗證 。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質具有重要意義。非接觸式光譜共焦推薦

光譜共焦位移傳感器是一種基于光波長偏移調制的非接觸式位移傳感器。它也是一種新型極高精密度、極高可靠性的光學位移傳感器,近些年對迅速、精確的非接觸式測量變得更加關鍵。光譜共焦位移傳感器不但可以精確測量偏移,還可用作圓直徑的精確測量,及其塑料薄膜的折光率和厚度的精確測量,在電子光學計量檢定、光化學反應、生物醫(yī)學工程電子光學等領域具備大量應用市場前景。光譜共焦位移傳感器的誕生歸功于共聚焦顯微鏡研究。它們工作中原理類似,都基于共焦原理。1955年,馬文·明斯基依據共焦原理研發(fā)出共焦光學顯微鏡。接著,Molesini等于1984年給出了光譜深層掃描儀原理,并將其用于表面輪廓儀。后來在1992年,Browne等人又把它運用到共聚焦顯微鏡中,應用特殊目鏡造成散射開展高度測量 ,不用彩色掃描,提升了測量速度。a.Ruprecht等運用透射分束制定了超色差鏡片,a.Miks探討了運用與不一樣玻璃材質連接的鏡片得到鏡頭焦距與波長線性關系的辦法。除開具有μm乃至納米技術屏幕分辨率以外,光譜共焦位移傳感器還具備對表層質量要求低,容許更多的傾斜度和達到千HZ的輸出功率的優(yōu)勢。國內光譜共焦安裝操作注意事項光譜共焦位移傳感器可以用于材料、結構和生物等領域的位移和形變測量。

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組 ,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。

光譜共焦技術是一種高精度、非接觸的光學測量技術,將軸向距離與波長的對應關系建立了一套編碼規(guī)則。作為一種亞微米級、迅速精確測量的傳感器,基于光譜共焦技術的傳感器已廣應用于表面微觀形狀 、厚度測量 、位移測量、在線監(jiān)控和過程管控等工業(yè)測量領域。隨著光譜共焦傳感技術的不斷發(fā)展,它在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量測量和其他領域的應用將會更加廣。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來,無需軸向掃描,可以直接利用波長對應軸向距離信息,大幅提高測量速度。光譜共焦位移傳感器具有高靈敏度和迅速響應的特點,可以實現實時測量和監(jiān)測。

高像素傳感器的設計取決于對焦水平和圖像室內空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內空間NA可以提高傳感器系統的燈源使用率 ,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導致球差擴大,并增加電子光學設計的優(yōu)化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統,這種離散系統也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學元件(DOE)可以形成足夠強的色差。然而,制造難度和成本相對較高,且在可見光范圍內透射損耗也非常高。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料的性能測試和分析;國內光譜共焦安裝操作注意事項

該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。非接觸式光譜共焦推薦

光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術,在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果,以確??煽康馁|量保證。由于光學測量技術是非接觸式的,它們在生產和檢測過程中變得越來越重要,可以單獨應用于目標材料分開和表面特性。這是在“實時”生產過程中的一個主要優(yōu)勢,尤其是當目標位于難以接近的區(qū)域時,觸覺測量技術正在發(fā)揮其極限。共焦色差測量技術提供突破性的技術,高精度和高速度,并且可以用于距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實際上與表面特性無關。由于測量光斑尺寸很小,即使是非常小的物體也能被檢測到。因此,共焦色度測量技術適用于在線質量控制 。非接觸式光譜共焦推薦

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