上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。直銷光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。紹興什么樣光譜共焦位移傳感器該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。

本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進(jìn)行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于產(chǎn)業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)用性強(qiáng),不僅實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量。

傳統(tǒng)的光譜儀中，還可采用光柵進(jìn)行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中，還可采用光柵進(jìn)行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組，準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠(yuǎn)，通過準(zhǔn)直透鏡組對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直，可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高，在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心，有利于后續(xù)對各色光進(jìn)行色散。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。吉林光譜共焦位移傳感器推薦

該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。直銷光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進(jìn)一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。直銷光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)