如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,其特征在于:所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,其特征在于:所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器;所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa激光位移傳感器可精確非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化。南昌激光位移傳感器供應(yīng)
為克服由于前述各種因素導(dǎo)致激光位移傳感器像面上的像點(diǎn)光斑不對(duì)稱現(xiàn)象對(duì)位移檢測(cè)產(chǎn)生的影響,目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片,用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象,但該方法還無(wú)法減小被測(cè)物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測(cè)誤差;在工業(yè)檢測(cè)中根據(jù)不同的被測(cè)物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測(cè)精度,這對(duì)工作場(chǎng)合穩(wěn)定、被測(cè)物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的,但對(duì)被測(cè)表面反射情況事先無(wú)法知道的道路檢測(cè)方面,同樣還存在由于光斑不對(duì)稱產(chǎn)生的測(cè)量誤差;國(guó)內(nèi)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨激光位移傳感器是一種非接觸式的測(cè)量設(shè)備,利用激光技術(shù)進(jìn)行精確的距離測(cè)量。
傳統(tǒng)的接觸式平面檢測(cè)精度低、穩(wěn)定性差及對(duì)對(duì)象物檢測(cè)條件要求苛刻,已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測(cè)所替代。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)以其高精度、高分辨率及不受對(duì)象物材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點(diǎn),可對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行平面檢測(cè)。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機(jī)理,并進(jìn)行平面定性檢測(cè)和定量檢測(cè)試驗(yàn),用OpenGI。繪制及擬合三維曲面。試驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)平面檢測(cè)結(jié)果較好地反映出對(duì)象物平面起伏情況,并且達(dá)到系統(tǒng)的精度要求。
激光位移傳感器的測(cè)量精度容易受到被測(cè)物體表面特征的影響,為了減小測(cè)量誤差,在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對(duì)傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求,半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求,但其光束質(zhì)量并不理想,需要對(duì)其進(jìn)行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對(duì)稱:快軸發(fā)散角較大,半角的典型值為30~40°,光束呈高斯分布,發(fā)光范圍的半寬度為0.6~0.8μm,慢軸發(fā)散角的半角典型值為3~6°,光束分布不規(guī)則,發(fā)光范圍半寬度為50~100μm。因此,在不允許能量損失的情況下,要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573;但由于光束的快軸能量呈高斯分布,通常取半寬度(FWHM)為20°,此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些,但考慮到工藝問(wèn)題,不宜過(guò)小,選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì),將系統(tǒng)倒置,整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長(zhǎng)為785±10nm,像方NA=0.342,像距l(xiāng)′=2.5mm,物距l(xiāng)=40~60mm,焦距f=3~4mm。高精度激光位移傳感器具有較高的精確度,能夠滿足精密測(cè)量的需求。
在弧矢方向偏離2.1mm,IMA:-2.115,0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無(wú)偏離,在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示,在按照上述方式設(shè)計(jì)由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后,不論被測(cè)物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置,best終所呈現(xiàn)的光斑均為長(zhǎng)條狀,且長(zhǎng)條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長(zhǎng),而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣,就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響。同時(shí),還能夠降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度,降低成本。不僅如此,由于光斑在弧矢方向上被壓縮,所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置,有助于提高測(cè)量精度。另外,光斑在子午方向上的拉長(zhǎng),并不會(huì)影響測(cè)量精度。它具有較長(zhǎng)的使用壽命,能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。寧波激光位移傳感器推薦
它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量,可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。南昌激光位移傳感器供應(yīng)
從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出,在整個(gè)物面并不垂直于光軸時(shí),經(jīng)過(guò)系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸,與光軸存在一定的夾角β,設(shè)計(jì)的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°,此時(shí)像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場(chǎng)的散射光均能很好地成像于探測(cè)器。在圖4中可看到不同視場(chǎng)的成像光斑形狀,此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻,但還存在一定的剩余像差,主要為球差,光斑大小可見表2,光斑直徑在20μm左右。同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果可得像距為33.092mm,經(jīng)計(jì)算tanα/tanβ=0.6137,di/do=0.6145,此物鏡設(shè)計(jì)基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。南昌激光位移傳感器供應(yīng)