根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口被設(shè)置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預定基準軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述預定基準軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預定方向設(shè)置。它利用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，具有亞微米級的高精度。北京光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量深圳光譜共焦位移傳感器推薦它可以測量物體微小的位移，精度高達亞微米級別。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設(shè)置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設(shè)有保護套，所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。
光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設(shè)計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應(yīng)的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。
光學頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當?shù)卦O(shè)計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應(yīng)的波長光。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領(lǐng)域的精密測量。認可光譜共焦位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。北京光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學頭是2個光學頭或者3個光學頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學頭中的各光學頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。北京光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好