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南京通信光譜共焦位移傳感器

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-05

遠(yuǎn)距離測量:可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位。 其中,光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進(jìn)行三角測量時(shí),照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布,從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯,為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術(shù)。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。南京通信光譜共焦位移傳感器

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接,光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi);通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;品牌光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束中的各個(gè)測量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對(duì)象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中,國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進(jìn)口。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。

將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個(gè)白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個(gè)光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進(jìn)行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。唐山光譜共焦位移傳感器廠家供應(yīng)

該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。南京通信光譜共焦位移傳感器

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個(gè)光束。通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束?;诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測量對(duì)象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。南京通信光譜共焦位移傳感器

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