這樣，通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過(guò)感光元件與控制電路電性連接，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測(cè)量精度。鹽城高速光譜共焦位移傳感器
1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過(guò)所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套簡(jiǎn)和一個(gè)彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)所述雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過(guò)SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱(chēng)設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。浙江光譜共焦位移傳感器銷(xiāo)售價(jià)格光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測(cè)量精度。
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。
被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過(guò)程，通過(guò)光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。
本實(shí)施例中通過(guò)采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個(gè)或多個(gè)，當(dāng)設(shè)置為一個(gè)時(shí)，導(dǎo)光光纖均傳遞一個(gè)發(fā)光件的光，這樣會(huì)導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識(shí)度不高，因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個(gè)，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個(gè)，發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對(duì)應(yīng)連接關(guān)系，多個(gè)導(dǎo)光光纖呈對(duì)稱(chēng)分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上，這樣由導(dǎo)光光纖一一對(duì)應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識(shí)度高。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動(dòng)等效應(yīng)。徐州光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。鹽城高速光譜共焦位移傳感器
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱(chēng)設(shè)置。進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進(jìn)一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進(jìn)一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。鹽城高速光譜共焦位移傳感器