傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個系統(tǒng)的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時其結(jié)構(gòu)簡單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應(yīng)當(dāng)理解的是，本實用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。一條連接結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導(dǎo)光光纖進(jìn)行保護(hù)。創(chuàng)視智能嗯江蘇光譜共焦位移傳感器定做價格光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測量精度。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學(xué)頭是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光;使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。蘇州光譜共焦位移傳感器行情
該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器
準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置，且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣，使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步減小雜散光。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡單，易于加工裝配和調(diào)整，同時實現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點；例如，軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機(jī)殼，在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上，棱鏡組用于對反射光進(jìn)行色散，在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進(jìn)行聚焦，位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器