將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開(kāi)設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過(guò)導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對(duì)光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度；通過(guò)濾光片過(guò)濾紅外線，進(jìn)一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對(duì)下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度。它利用光譜共焦技術(shù)來(lái)測(cè)量物體的微小位移，具有亞微米級(jí)的高精度。高精度光譜共焦位移傳感器銷(xiāo)售價(jià)格

本實(shí)用新型涉及光電精密測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國(guó)的航空航天、汽車(chē)、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來(lái)越高，所以，能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測(cè)，將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測(cè)量的技術(shù)手段通常分為接觸式測(cè)量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測(cè)量(光學(xué)式為主)兩類(lèi)。非接觸式光學(xué)測(cè)量具有如下優(yōu)點(diǎn)：無(wú)損檢測(cè)：可測(cè)量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場(chǎng)景。什么樣光譜共焦位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開(kāi)設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過(guò)沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓?zhuān)苊馐褂谜咴谑褂眠^(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的位移測(cè)量，包括金屬、陶瓷、塑料等。

根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測(cè)量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束:通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。滄州原裝光譜共焦位移傳感器

該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。高精度光譜共焦位移傳感器銷(xiāo)售價(jià)格

線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中 多個(gè)光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過(guò)以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測(cè)量光。特別地,通過(guò)使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來(lái)在不同位置處設(shè)置多個(gè)光入射口,可以容易將各測(cè)量光射出至多個(gè)受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測(cè)量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。高精度光譜共焦位移傳感器銷(xiāo)售價(jià)格