根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑，激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射)，也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測(cè)量。南通激光位移傳感器調(diào)試
通過將空間頻率為62.5lp/mm時(shí)的MTF解析結(jié)果保持在MTFS＞MTFT×10或MTFT＞MTFS×10，尤其是讓解析結(jié)果滿足：MTFS≥0.5且MTFT＜0.05、或者M(jìn)TFT≥0.5且MTFS＜0.05，能夠讓光斑在感光元件的感光單元的主要排列方向上的延伸更加明顯，進(jìn)一步降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度、以及制造和維護(hù)成本；對(duì)于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物鏡，通過在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃等)，配合微調(diào)成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離來使得成像物鏡和感光元件所組成整體的MTF值滿足上述要求，能夠很容易地讓光斑被拉長(zhǎng)，更加容易被感光元件所接收；南通激光位移傳感器調(diào)試這對(duì)于需要實(shí)時(shí)控制和調(diào)整的應(yīng)用非常重要，如機(jī)械加工、自動(dòng)化生產(chǎn)線等領(lǐng)域。
如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa
加工-測(cè)量-再加工-再測(cè)量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測(cè)不僅包括非球面表面形狀的檢測(cè)，還包括非球面中心偏差的測(cè)量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運(yùn)動(dòng)誤差、磨削力變形及檢測(cè)誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會(huì)產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計(jì)精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測(cè)信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中的應(yīng)用案例。
在以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器中，相對(duì)于成像物鏡，物面和像面都成傾斜狀態(tài)，即物面與像面都與成像物鏡光軸成一定的夾角。在傳統(tǒng)激光位移傳感器中，光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)都兼顧成像物鏡子午方向(T方向)和弧矢方向(S方向)兩個(gè)方向的成像質(zhì)量。由于需要兼顧兩個(gè)方向的成像質(zhì)量，所以這種需求的存在會(huì)增加激光位移傳感器的成像物鏡設(shè)計(jì)難度，提高制造和維護(hù)成本。不僅如此，隨著激光位移傳感器的使用，很可能會(huì)因?yàn)檎駝?dòng)、機(jī)械變形等原因，使得激光器發(fā)出的光斑無法準(zhǔn)確投射到傳感器上，導(dǎo)致系統(tǒng)信噪比降低，影響測(cè)量的準(zhǔn)確性，甚至可能出現(xiàn)完全無法進(jìn)行測(cè)量的問題。它具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。普陀區(qū)激光位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)
它可以用于測(cè)量電子元件的尺寸和形狀。南通激光位移傳感器調(diào)試
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量，可采用柱面鏡或非球面實(shí)現(xiàn)，另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3，4]，但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)較復(fù)雜，元件較多，不宜裝調(diào)，成本也會(huì)增長(zhǎng)。因此，在精度允許的情況下，可考慮全部采用球面鏡，不考慮焦深延拓，用變倍的方法實(shí)現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布，設(shè)定中心波長(zhǎng)權(quán)重為3，邊緣波長(zhǎng)權(quán)重為1。要消掉少量的色差，系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個(gè)初始結(jié)構(gòu)，經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計(jì)結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場(chǎng)的光斑大小分布。南通激光位移傳感器調(diào)試