激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據實時處理,為工業(yè)生產制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術,具有廣泛的應用前景。溫州如何光譜共焦位移傳感器
本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業(yè)飛速發(fā)展,對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器24小時服務該傳感器可以與其他測量設備相結合,實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。
1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍葘ΨQ設置。4.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。
位于沉孔的開口端,通過粘接固定設置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質或塑料材質,透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護,本實施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導光光纖從發(fā)光件傳導過來的光發(fā)散傳導到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接,導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上,這樣導光光纖傳導從發(fā)光件發(fā)出來的光時,不可避免的會產生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產生配合間隙,導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產生的形變量,從而減少產生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。
發(fā)光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設置,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,具有亞微米級的高精度。溫州如何光譜共焦位移傳感器
傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。溫州如何光譜共焦位移傳感器
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。根據激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內只能獲得被測量的一維信息,使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備,通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。溫州如何光譜共焦位移傳感器