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隨著現(xiàn)代化工業(yè)的發(fā)展,激光位移傳感器作為高精度、高響應的非接觸測量儀器,在光電技術檢測領域得到了大范圍的應用。其采用的激光三角法原理在理論上已相當成熟,但在實際應用中還有一定的困難。由于三角法建立在理想成像的基礎之上,所以三角法能否準確實現(xiàn)還要依賴于所采用的光學系統(tǒng)。現(xiàn)階段,國外此類的高精度物鏡設計處于前沿水平,并擁有比較成熟的產品,但其多透鏡組合與非球面的加工方式在制造成本上相當昂貴。國內對激光位移傳感器光學系統(tǒng)的研究主要還處于實驗性階段,尚沒有形成產品化。針對目前市場上對激光位移傳感器的大范圍需求,本文從簡單實用的角度出發(fā),利用CODEV光學設計軟件對激光三角法進行實際光路模擬與優(yōu)化設計,形成了一整套具有優(yōu)良成像特性的光學系統(tǒng),為傳感器的產品化生產提供了理論依據(jù)。激光位移傳感器在半導體行業(yè)的應用案例。南昌激光位移傳感器供應
一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結果滿足以下條件:在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,MTFT>MTFS;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得所述解析結果滿足所述條件;和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件,并且配合微調所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離,使得所述解析結果滿足所述條件。2.根據(jù)權利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS>MTFT×10。上饒激光位移傳感器常用知識激光位移傳感器是利用激光技術進行測量的傳感器。
公開號為CN 1 05138193A的中國發(fā)明專利申請公開一種用于光學觸摸屏的攝像模組及其鏡頭,具體而言,該專利申請采用拉高成像物鏡T方向的MTF值、壓低S方向的調質傳遞函數(shù)(MTF)值,來提高光學觸摸屏裝置的靈敏性能。因此,該patent對于如何提高光學觸摸屏的靈敏性能,提出了解決方案。但是,激光位移傳感器不同于光學觸摸屏,隨著激光位移傳感器的使用,很可能會因為振動、機械變形等原因,使得激光器發(fā)出的光斑無法正確投向傳感器,進而導致無法進行準確檢測、甚至完全無法進行測量的問題。而對于激光位移傳感器所面臨的設計難度高、易受振動和機械變形影響的問題,上述patent無能為力。[0007]針對上述問題,目前尚未提出有效的解決方案。
通過將空間頻率為62.5lp/mm時的MTF解析結果保持在MTFS>MTFT×10或MTFT>MTFS×10,尤其是讓解析結果滿足:MTFS≥0.5且MTFT<0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS<0.05,能夠讓光斑在感光元件的感光單元的主要排列方向上的延伸更加明顯,進一步降低成像物鏡的設計難度、以及制造和維護成本;對于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物鏡,通過在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件(如平板玻璃等),配合微調成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離來使得成像物鏡和感光元件所組成整體的MTF值滿足上述要求,能夠很容易地讓光斑被拉長,更加容易被感光元件所接收;這些傳感器具有廣泛的應用領域。它們可以用于測量各種材料的位移,包括金屬、塑料和液體等。
本實用新型涉及一種檢驗校準裝置,特別指一種激光位移傳感器檢驗校準裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術進行測量的傳感器,它由激光器、激光檢測器、測量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表,能夠非接觸測量被測物體的位移變化,并且測量精度高。在激光位移傳感器的使用過程中,由于設備的磨損老化等原因,導致激光位移傳感器的測量誤差增大,此時需要將激光位移傳感器進行定期的檢驗、校準。目前,對激光位移傳感器的檢驗、校準,主流的做法是測量一個已知的距離(比如:1米、5米、10米等),通過對比測量的數(shù)值與實際的數(shù)值來判斷測量的精確度。但是這種方法存在有如下問題:1、檢驗的精度不夠高;2、需要較大的場地。激光位移傳感器在市政檢測行業(yè)的應用案例。寶山區(qū)激光位移傳感器貨真價實
激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應用案例。南昌激光位移傳感器供應
在以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器中,相對于成像物鏡,物面和像面都成傾斜狀態(tài),即物面與像面都與成像物鏡光軸成一定的夾角。在傳統(tǒng)激光位移傳感器中,光學系統(tǒng)設計都兼顧成像物鏡子午方向(T方向)和弧矢方向(S方向)兩個方向的成像質量。由于需要兼顧兩個方向的成像質量,所以這種需求的存在會增加激光位移傳感器的成像物鏡設計難度,提高制造和維護成本。不僅如此,隨著激光位移傳感器的使用,很可能會因為振動、機械變形等原因,使得激光器發(fā)出的光斑無法準確投射到傳感器上,導致系統(tǒng)信噪比降低,影響測量的準確性,甚至可能出現(xiàn)完全無法進行測量的問題。南昌激光位移傳感器供應