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泰州光譜共焦位移傳感器找哪家

來源: 發(fā)布時間:2024-06-18

本實用新型目的在于針對現(xiàn)有技術所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內,Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。泰州光譜共焦位移傳感器找哪家

光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上,所述導光光纖用于傳導發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內,通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;沈陽光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優(yōu)點。

這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現(xiàn)電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。

本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器,入射光纖,光譜共焦位移傳感探頭,接收光纖,光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器,其特征在于,包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光;入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;光譜共焦位移傳感探頭,所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端,所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導;它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。

準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置,且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣,使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統(tǒng),進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單,易于加工裝配和調整,同時實現(xiàn)準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關系的優(yōu)點;例如,軸向色散與波長產生三次函數(shù)關系,有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼,在機殼中固定設置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對反射光進行色散,在機殼內固定設置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦,位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。湖北高速光譜共焦位移傳感器

光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。泰州光譜共焦位移傳感器找哪家

本實用新型由于采用了上述技術方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進行采集分析2、該系統(tǒng)結構簡單,易于產業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進行測量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物適應性強,適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復:4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。本實用新型結構簡單,實用性強,不僅實現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量。泰州光譜共焦位移傳感器找哪家

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