機殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領(lǐng)域的精密測量。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊

Preferencyly，在本實施例中發(fā)光件設(shè)置有2個，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對探頭的影響，發(fā)光件左右對稱布置在光源耦合器中，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導光光纖也設(shè)置有2個，分別通過插槽3400與發(fā)光件連接，兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導光光纖的傳導，從各個方向射出，使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)防護光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；

本實用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高，所以，能否進行高效率、高精度的檢測，將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點：無損檢測：可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場景。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。

白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應(yīng)當注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束。當然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍色光B相對應(yīng)。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng)。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。質(zhì)量光譜共焦位移傳感器常見問題

光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊

根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中，所述分光器包括設(shè)置有所述多個光入射口的光入射面，以及所述多個光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應(yīng)于所述多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。小型光譜共焦位移傳感器以客為尊