光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個測量點(diǎn)的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對象的兩個測量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點(diǎn)和的位置相對應(yīng)的波長光。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、半導(dǎo)體制造和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性。唐山光譜共焦位移傳感器常用解決方案
在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光。銷售光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。
為使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng)，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié)，同時通過反饋控制實現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩(wěn)定；光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進(jìn)行過濾,避免進(jìn)入其他部件而造成熱變形，因此，對整體系統(tǒng)的性能有改善作用。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對測量對象的位移的多點(diǎn)測量的共焦測量設(shè)備。在該共焦測量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻(xiàn)1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對多個光學(xué)頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進(jìn)行測量對象的多點(diǎn)測量.它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測量，對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。江蘇光譜共焦位移傳感器市場價格
該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。唐山光譜共焦位移傳感器常用解決方案
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。唐山光譜共焦位移傳感器常用解決方案