在弧矢方向偏離2.1mm,IMA:-2.115,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示,在按照上述方式設(shè)計由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后,不論被測物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置,best終所呈現(xiàn)的光斑均為長條狀,且長條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長,而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣,就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應(yīng)對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響。同時,還能夠降低成像物鏡的設(shè)計難度,降低成本。不僅如此,由于光斑在弧矢方向上被壓縮,所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置,有助于提高測量精度。另外,光斑在子午方向上的拉長,并不會影響測量精度。激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度,能夠滿足各種精密測量需求。防水激光位移傳感器答疑解惑
本實用新型要解決的技術(shù)問題,在于提供一種激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置,通過該裝置來提高檢驗的精度,減小設(shè)備尺寸節(jié)約空間。本實用新型是這樣實現(xiàn)的:一種激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置,包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置;所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接,且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。銷售激光位移傳感器市場價格激光位移傳感器可以用于測量光學(xué)元件的位置和形狀。
要想在工作范圍內(nèi)得到好的光斑質(zhì)量,可采用柱面鏡或非球面實現(xiàn),另外波前編碼和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3,4],但這樣的光學(xué)系統(tǒng)相對較復(fù)雜,元件較多,不宜裝調(diào),成本也會增長。因此,在精度允許的情況下,可考慮全部采用球面鏡,不考慮焦深延拓,用變倍的方法實現(xiàn)在40、45、50、55、60mm物距處光斑大小盡量均勻一致。根據(jù)光譜分布,設(shè)定中心波長權(quán)重為3,邊緣波長權(quán)重為1。要消掉少量的色差,系統(tǒng)至少需要兩片鏡片。根據(jù)以上要求選定了一個初始結(jié)構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化得到以下best設(shè)計結(jié)果。圖2為優(yōu)化后的鏡頭結(jié)構(gòu)(像距在50mm處)。表1為effective工作范圍內(nèi)軸上視場的光斑大小分布。
在一個實施例中,激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內(nèi)被測點在S方向的MTF值,MTFT為量程內(nèi)被測點在T方向的MTF值,曲線1為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值,曲線2為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值;曲線3為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線4為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值;曲線5為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線6為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內(nèi),向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內(nèi)被測點的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。這種傳感器還可以用于測量建筑物的結(jié)構(gòu)變形,以確保其安全性。
在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下,成像物鏡本身的MTFS>MTFT、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得解析結(jié)果滿足條件;和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件,反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上,成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后,入射到感光元件。它還可以用于測量材料的膨脹和收縮,以研究其熱學(xué)性質(zhì)。寧德激光位移傳感器定做
激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進行測量的傳感器。防水激光位移傳感器答疑解惑
激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響,為了減小測量誤差,在整形鏡設(shè)計中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設(shè)計的要求,半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點正好符合這一要求,但其光束質(zhì)量并不理想,需要對其進行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大,半角的典型值為30~40°,光束呈高斯分布,發(fā)光范圍的半寬度為0.6~0.8μm,慢軸發(fā)散角的半角典型值為3~6°,光束分布不規(guī)則,發(fā)光范圍半寬度為50~100μm。因此,在不允許能量損失的情況下,要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573;但由于光束的快軸能量呈高斯分布,通常取半寬度(FWHM)為20°,此時NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些,但考慮到工藝問題,不宜過小,選定為2.5mm。為了便于設(shè)計,將系統(tǒng)倒置,整個系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm,像方NA=0.342,像距l(xiāng)′=2.5mm,物距l(xiāng)=40~60mm,焦距f=3~4mm。防水激光位移傳感器答疑解惑