光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度 、非接觸式的光學(xué)測量技術(shù)?;诠庾V共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領(lǐng)域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描,直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術(shù)有著較大的應(yīng)用前景。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強(qiáng)度的變化后,系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測量之外,另一種選擇是使用信號強(qiáng)度進(jìn)行測量,這可以實現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化 。通過恒定的曝光時間,可以獲得關(guān)于表面評估的附加信息,而這靠距離測量是不可能的。品牌光譜共焦性價比高企業(yè)光譜共焦技術(shù)主要來自共焦顯微術(shù),早期由美國學(xué)者M(jìn)insky提出。
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測量方面具有更加明顯的優(yōu)勢。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應(yīng)用,如漫反射光和平面反射面的偏移測量、平整度測量、塑料薄膜和透明材料薄厚測量,外表粗糙度測量等。在偏移測量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測量偏移。研究人員對光譜共焦傳感器的散射目鏡進(jìn)行了分析,并制定了相應(yīng)的構(gòu)造來提高其各項特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對飛機(jī)發(fā)動機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片空隙進(jìn)行了高精度和高效率的測量。在平整度測量方面,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測誤差,并對平面圖檢測誤差展開了科學(xué)研究。通過利用光譜共焦傳感器對圓平晶的平整度展開測量,他們獲得了平面圖檢測誤差的數(shù)值。
在容器玻璃的生產(chǎn)過程中,瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征。因此,必須檢查這些參數(shù)。任何有缺陷的容器都會立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合,需要快速的非接觸式測量程序。而光譜共焦傳感器適合這項測量任務(wù)。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量。數(shù)據(jù)通過 EtherCAT 接口實時輸出,厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個測量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測量。無論玻璃顏色如何 ,自動曝光控制都可以實現(xiàn)穩(wěn)定的測量。光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)高分辨率的成像和分析。
光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖,再通過超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產(chǎn)生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續(xù)的,不重合的。當(dāng)待測物放置檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,產(chǎn)生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計算待測物體的部位,創(chuàng)建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來電子光學(xué)信號的光譜成份。因而,超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件,其設(shè)計方案十分重要 。光譜共焦位移傳感器的測量精度和穩(wěn)定性受到光源、光譜儀和探測器等因素的影響。新型光譜共焦
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級別。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務(wù)而設(shè)計的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實驗室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量表面特征的變化時帶來更好的性能 。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)