光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。國(guó)產(chǎn)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)商
根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱(chēng)的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。滄州光譜共焦位移傳感器制造廠家該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測(cè)量。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。
遠(yuǎn)距離測(cè)量:可遠(yuǎn)離被測(cè)物體進(jìn)行掃描測(cè)量。 測(cè)量效率高:不像接觸測(cè)頭那樣需要探測(cè)、返回、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測(cè)量,可高速掃描測(cè)量。測(cè)量精度高:光斑可聚焦到很小,進(jìn)而可探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位。 其中,光學(xué)測(cè)量以三角測(cè)量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測(cè)量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測(cè)信噪比高的激光光源,但使用激光進(jìn)行三角測(cè)量時(shí),照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,而且被測(cè)物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布,從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,導(dǎo)致三角法測(cè)量誤差比較大,在測(cè)量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯,為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測(cè)量位移,需要采用新型位移測(cè)量技術(shù)。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。
激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過(guò)與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微位移測(cè)量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測(cè)設(shè)備中,國(guó)內(nèi)所使用的激光非接觸測(cè)量?jī)x器幾乎主要依靠國(guó)外進(jìn)口。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用前景。揚(yáng)州光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量,對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。國(guó)產(chǎn)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)商
傳統(tǒng)的光譜儀中,還可采用光柵進(jìn)行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對(duì)于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進(jìn)行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對(duì)于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號(hào)很弱,影響測(cè)量精度和效果。光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組,準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,即開(kāi)始相鄰的兩條光線傳播后會(huì)相離越來(lái)越遠(yuǎn),通過(guò)準(zhǔn)直透鏡組對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高,在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心,有利于后續(xù)對(duì)各色光進(jìn)行色散。國(guó)產(chǎn)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)商