本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調制傳遞函數(shù)(MTF)解析結果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設計難度，節(jié)省制造和維護成本；激光位移傳感器可以用于測量機械零件的尺寸和形狀。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產廠家哪家好
在弧矢方向偏離2.1mm，IMA：-2.115，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示，在按照上述方式設計由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后，不論被測物體在激光位移傳感器量程內的什么位置，best終所呈現(xiàn)的光斑均為長條狀，且長條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長，而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣，就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響。同時，還能夠降低成像物鏡的設計難度，降低成本。不僅如此，由于光斑在弧矢方向上被壓縮，所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置，有助于提高測量精度。另外，光斑在子午方向上的拉長，并不會影響測量精度。松江區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價格激光位移傳感器是利用激光技術進行測量的傳感器。
隨著科學技術的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計算機相結合等特點的激光位移檢測技術在自動檢測、機器人視覺、計算機輔助設計與制造等領域得到了廣泛的應用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術，成為現(xiàn)代檢測技術很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進行高精密度的位移測定，例如可以對微細工件、粗面工件的高度進行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠鏡終端的拼接CCD相機為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機平面平整度進行檢測。
從圖3所示的成像光學系統(tǒng)結構圖可看出，在整個物面并不垂直于光軸時，經過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設計的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀，此點列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見表2，光斑直徑在20μm左右。同時根據設計結果可得像距為33.092mm，經計算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設計基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。采用激光束對目標物體進行掃描和測量，因此可以實現(xiàn)非接觸式的位移測量。
系統(tǒng)的整體結構如圖1所示。從圖1可以看出，整個系統(tǒng)由上位機、激光位移傳感器和平臺運動控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監(jiān)視器組成。平臺運動控制系統(tǒng)主要由平移臺運動控制器、驅動器、電源和二維電動平移臺組成。系統(tǒng)的部分設備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據被測對象物的變化可測量范圍為2 mm，基準距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達到滿量程的0.3％，即精度達到6μm。高精度激光位移傳感器的可靠性和穩(wěn)定性也是其優(yōu)點之一。松江區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價格
它可以用于測量建筑結構的變形和振動。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產廠家哪家好
加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測，還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制，加工的非球面光學元件會產生一些質量缺陷，無法保證跨尺度的產品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設計精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進行多誤差校正和補償加工。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產廠家哪家好