掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)一般適用于模量范圍在1~300 GPa 的材料。對于更軟的材料，在測試過程中接觸力有可能會對樣品造成損害?；谳p敲模式的原子力顯微鏡多頻成像技術(shù)是近年來發(fā)展的一項納米力學(xué)測試方法。通過同時激勵和檢測探針多個頻率的響應(yīng)或探針振動的兩階(或多階) 模態(tài)或探針振動的基頻和高次諧波成分等，可以實現(xiàn)對被測樣品形貌、彈性等性質(zhì)的快速測量。只要是涉及探針兩個及兩個以上頻率成分的激勵和檢測，均可以歸為多頻成像技術(shù)。由于輕敲模式下針尖施加的作用力遠(yuǎn)小于接觸狀態(tài)下的作用力，因此基于輕敲模式的多頻成像技術(shù)適合于軟物質(zhì)力學(xué)性能的測量。通過納米力學(xué)測試，可評估納米材料在極端環(huán)境下的可靠性。重慶納米力學(xué)測試模塊

原位納米片取樣和力學(xué)測試技術(shù)，原位納米片取樣和力學(xué)測試技術(shù)是一種新興的納米尺度力學(xué)測試方法，其基本原理是利用優(yōu)化的離子束打造方法，在含有待測塑料表面的納米區(qū)域內(nèi)制備出超薄的平面固體材料，再對其進(jìn)行拉伸、扭曲等力學(xué)測試。相比于傳統(tǒng)的拉伸試驗等方法，原位納米片取樣技術(shù)具有更優(yōu)的尺寸控制和納米量級精度，可以為納米尺度力學(xué)測試提供更加準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)?？傊?，原位納米力學(xué)測量技術(shù)的研究及應(yīng)用是未來納米材料科學(xué)發(fā)展的重要方向之一，將為納米材料的設(shè)計、開發(fā)以及工業(yè)應(yīng)用等領(lǐng)域的發(fā)展做出積極貢獻(xiàn)。湖北半導(dǎo)體納米力學(xué)測試納米力學(xué)測試的結(jié)果可以為納米材料的安全性和可靠性評估提供重要依據(jù)。

AFAM 方法較早是由德國佛羅恩霍夫無損檢測研究所Rabe 等在1994 年提出的。1996 年Rabe 等詳細(xì)分析了探針自由狀態(tài)以及針尖與樣品表面接觸情況下微懸臂的動力學(xué)特性，建立了針尖與樣品接觸時共振頻率與接觸剛度之間的定量化關(guān)系。之后，他們還給出了考慮針尖與樣品側(cè)向接觸、針尖高度及微懸臂傾角影響的微懸臂振動特征方程。他們在這方面的主要工作奠定了AFAM 定量化測試的理論基礎(chǔ)。Reinstaedtler 等利用光學(xué)干涉法對探針懸臂梁的振動模態(tài)進(jìn)行了測量。Turner 等采用解析方法和數(shù)值方法對比了針尖樣品之間分別存在線性和非線性相互作用時，點質(zhì)量模型和Euler-Bernoulli 梁模型描述懸臂梁動態(tài)特性的異同。

納米測量技術(shù)是利用改制的掃描隧道顯微鏡進(jìn)行微形貌測量，這個技術(shù)已成功的應(yīng)用于石墨表面和生物樣本的納米級測量。國外于1982年發(fā)明并使其發(fā)明者Binnig和Rohrer（美國）榮獲1986年物理學(xué)諾貝爾獎的掃描隧道顯微鏡（STM）。1986年，Binnig等人利用掃描隧道顯微鏡測量近10－18N的表面力，將掃描隧道顯微鏡與探針式輪廓儀相結(jié)合，發(fā)明了原子力顯微鏡，在空氣中測量，達(dá)到橫向精度3n m和垂直方向0．1n m的分辨率。California大學(xué)S．Alexander等人利用光杠桿實現(xiàn)的原子力顯微鏡初次獲得了原子級分辨率的表面圖像。納米力學(xué)測試可以用于評估納米材料的性能和質(zhì)量，以確保其在實際應(yīng)用中的可靠性。

納米力學(xué)從研究的手段上可分為納觀計算力學(xué)和納米實驗力學(xué)。納米計算力學(xué)包括量子力學(xué)計算方法、分子動力學(xué)計算和跨層次計算等不同類型的數(shù)值模擬方法。納米實驗力學(xué)則有兩層含義:一是以納米層次的分辨率來測量力學(xué)場，即所謂的材料納觀實驗力學(xué);二是對特征尺度為1-100nm之間的微細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行的實驗力學(xué)研究，即所謂的納米材料實驗力學(xué)。納米實驗力學(xué)研究有兩種途徑:一是對常規(guī)的硬度測試技術(shù)、云紋法等宏觀力學(xué)測試技術(shù)進(jìn)行改造，使它們能適應(yīng)納米力學(xué)測量的需要;另一類是創(chuàng)造如原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡等新的納米力學(xué)測量技術(shù)建立新原理、新方法。隨著納米技術(shù)的不斷發(fā)展，納米力學(xué)測試技術(shù)也在不斷更新?lián)Q代，以適應(yīng)更高精度的測試需求。湖北半導(dǎo)體納米力學(xué)測試

通過納米力學(xué)測試，可以測量納米材料的彈性模量、硬度和斷裂韌性等力學(xué)性能。重慶納米力學(xué)測試模塊

納米云紋法，云紋法是在20世紀(jì)60年代興起的物體表面全場變形的測量技術(shù)。從上世紀(jì)80年代以來,高頻率光柵制作技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達(dá)到600~2400線mm,其測量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來云紋法的研究熱點已進(jìn)入微納尺度的變形測量，并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術(shù)、掃描探針顯微技術(shù)相結(jié)合的趨勢。顯微幾何云紋法，在光學(xué)顯微鏡下通過調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm，然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線，兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級變形的云紋。重慶納米力學(xué)測試模塊