靶材與設(shè)備的兼容性:不同規(guī)格、材質(zhì)的靶材與濺射設(shè)備的適配性存在差異。若靶材與設(shè)備的接觸面設(shè)計(jì)不合理,或存在微小的制造誤差,均可能在長時間高負(fù)荷運(yùn)行下導(dǎo)致脫靶。環(huán)境因素:濺射室內(nèi)的溫度、濕度波動,以及可能存在的微小振動,都會對靶材的穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。特...
針對PVD濺射過程中黃金靶材中毒的問題,修復(fù)處理可以遵循以下步驟:識別中毒癥狀:觀察靶電壓長時間無法達(dá)到正常,是否一直處于低電壓運(yùn)行狀態(tài)。注意是否有弧光放電現(xiàn)象。檢查靶材表面是否有白色附著物或密布針狀灰色放電痕跡。分析中毒原因:介質(zhì)合成速度大于濺射產(chǎn)額,即氧化...
半導(dǎo)體傳感器制造過程中,黃金靶材的利用率往往較低,殘靶的回收具有重要的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境價值。以下是關(guān)于半導(dǎo)體傳感器應(yīng)用黃金靶材殘靶回收的要點(diǎn):回收必要性:半導(dǎo)體傳感器制造中,黃金靶材用于濺射鍍膜,但靶材利用率通常較低,一般在30%以內(nèi)。剩余的純殘靶若作為普通廢料處理...
熔融技術(shù)黃金靶材焊接技術(shù)及其特點(diǎn)主要包括以下幾個方面:焊接技術(shù):熔融技術(shù)主要通過加熱使黃金靶材達(dá)到熔點(diǎn),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)焊接。在此過程中,可以采用激光焊接、電子束焊接等能量密度焊接方式,這些方式能夠形成小焊縫、熱影響區(qū)小,且焊接速度快、焊縫質(zhì)量好。特點(diǎn):純度保持:由于...
半導(dǎo)體傳感器制造過程中,黃金靶材的利用率往往較低,殘靶的回收具有重要的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境價值。以下是關(guān)于半導(dǎo)體傳感器應(yīng)用黃金靶材殘靶回收的要點(diǎn):回收必要性:半導(dǎo)體傳感器制造中,黃金靶材用于濺射鍍膜,但靶材利用率通常較低,一般在30%以內(nèi)。剩余的純殘靶若作為普通廢料處理...
可定制尺寸黃金靶材的尺寸規(guī)格可以根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制,因此沒有固定的標(biāo)準(zhǔn)尺寸。不過,根據(jù)行業(yè)內(nèi)的常規(guī)尺寸和參考文章中的信息,黃金靶材的常見尺寸規(guī)格包括但不限于以下幾種:直徑與厚度規(guī)格:φ60*2mm(直徑60毫米,厚度2毫米)φ*1mm(直徑,厚度...