氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)...
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多,常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法(抽真空),正壓法(吸入法)和背壓法(壓氦法),可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法,這是根據(jù)不同的檢測(cè)方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的...
氦檢儀測(cè)量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算,并在測(cè)試結(jié)果...
使用氦檢儀需注意哪些問題?響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間不應(yīng)大于3s。氦檢儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度:檢漏時(shí)噴有在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管...
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上,目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管...
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的因素:1、受到檢測(cè)壓力的影響,泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性,對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言,對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí),試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大,而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外,隨測(cè)試壓力的增高,還會(huì)帶來諸如溫度影響,...
氦檢儀機(jī)械泵故障及處理:1、機(jī)械泵不動(dòng)作,檢查項(xiàng)目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。2、機(jī)械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面:第1,氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比...
氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大...
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低...
使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問題:(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡(jiǎn)便,但儀器的清理時(shí)間較長(zhǎng)。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測(cè)試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽...
氦檢儀常用的幾種檢漏方法有:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部...
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)...
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,...
氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,因此具有可...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作??赡苁乔凹?jí)壓力過高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng)。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是...
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、性價(jià)比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域,競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì),可縮短抽氣時(shí)間,提高使用效率;2、自我保護(hù)功能:在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能,系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保...
氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作。可能是前級(jí)壓力過高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng)。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是...
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素,但通常選用氦氣,因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕孩俸庠诳諝庵械暮繕O少,只占約二十萬分之一,這樣氦氣的本底值就小,有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔,易于檢測(cè)也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;...
高質(zhì)量的檢漏儀可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)安全性,而且還可有效降低產(chǎn)品維護(hù)以及故障排除所需的時(shí)間和資本。但如何更高效的進(jìn)行產(chǎn)品檢漏?檢漏過程中需要注意哪些事宜?上海睿德勵(lì)柯儀器儀表有限公司小編來帶大家學(xué)習(xí)一下如何對(duì)空調(diào)相關(guān)系統(tǒng)利用氦檢儀和檢漏儀等設(shè)備進(jìn)行真空檢漏...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)...
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽...
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的原因是什么?穩(wěn)定時(shí)間對(duì)檢測(cè)的影響,在充氣的時(shí)候,壓縮空氣會(huì)因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后,引起一系列的熱力學(xué)-動(dòng)力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,其壓力會(huì)發(fā)生降低,若此時(shí)進(jìn)行測(cè)量,則這種壓力的變化會(huì)被視作一個(gè)由泄...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管...
氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對(duì)示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒有反應(yīng),屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號(hào),就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件,從而指示出漏...