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MEMS制作工藝深硅刻蝕即ICP刻蝕工藝：硅等離子體刻蝕工藝的基本原理干法刻蝕是利用射頻電源使反應氣體生成反應活性高的離子和電子，對硅片進行物理轟擊及化學反應，以選擇性的去除我們需要去除的區(qū)域。被刻蝕的物質(zhì)變成揮發(fā)性的氣體，經(jīng)抽氣系統(tǒng)抽離，然后按照設計圖形要求...

MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測： 光電導取樣光電導取樣是基于光導天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術(shù)。如要對THz脈沖信號進行探測，首先，需將一個未加偏置電壓的P...

MEMS傳感器的主要應用領(lǐng)域有哪些？ 運動追蹤在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，通過基于聲學TOF，或者基于光學的TOF技術(shù)，對每一個動作進行記錄，教練們對結(jié)果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進...

MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW： 聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播。它是聲學和電子學相結(jié)合的一門邊緣學科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍，而且在它的傳播路徑上容易取樣...

MEMS發(fā)展的目標在于，通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中，把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀MEMS將逐步從實驗室走向?qū)嵱没?..

MEMS制作工藝ICP深硅刻蝕：在半導體制程中，單晶硅與多晶硅的刻蝕通常包括濕法刻蝕和干法刻蝕兩種方法各有優(yōu)劣，各有特點。濕法刻蝕即利用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反應來去除薄膜未被光刻膠掩膜覆蓋的部分，而達到刻蝕的目的。因為濕法刻蝕是利用化學反應來進行...

MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW： 聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播。它是聲學和電子學相結(jié)合的一門邊緣學科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍，而且在它的傳播路徑上容易取樣...

微流控芯片的組成：微流控芯片由主體芯片、流體控制模塊、信號采集模塊和外部控制模塊組成。主體芯片是一個微通道網(wǎng)絡，由微流道、微閥門、微泵等構(gòu)成；流體控制模塊負責流體的輸入、輸出和控制；信號采集模塊用于采集傳感器的信號；外部控制模塊用于控制芯片的操作。 ...

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監(jiān)測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領(lǐng)域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只...

基于微流控芯片的鏈式聚合反應（PCR）更進一步的產(chǎn)品是可集成樣品前處理的基因鑒定方法之一。由于具有高度重復和低消耗樣品或試劑的特性，這種自動化和半自動化的微流控芯片在早期的藥物研發(fā)中，得到了廣泛應用。Caliper的商業(yè)模式是將芯片看作是與昂貴的電子學和光學儀...

Lee等人先前解釋說，與2D模型相比，微流控3D技術(shù)中腎單位的藥效學和病理生理學反應更為實用。KoC已被開發(fā)并證明可顯示出更好的藥物腎毒性體內(nèi)后果，該系統(tǒng)已被進一步用于確定各種藥物誘導的生物反應。此外，它還有助于培養(yǎng)近端小管，用于觀察預測藥物誘導的腎損傷（DI...

美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時，Chang對交流電動電學進行了改善，因為他認為交...

微流控芯片技術(shù)采用先進的MEMS和半導體跨界創(chuàng)新策略，是生命科學和生物醫(yī)學領(lǐng)域的新興科學。該技術(shù)能夠有效控制液體的物理化學反應。由于其微型縮小方法，它帶來了高質(zhì)量交換和高通量。它主要用于藥物發(fā)現(xiàn)、蛋白質(zhì)組學、藥物篩選、臨床分析和食品創(chuàng)新。目前，各種類型的微流控...

微流控分析芯片當初只是作為納米技術(shù)的一個補充，在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical syste...

Yuen博士所領(lǐng)導的研究小組的研究領(lǐng)域包括MEMS微電動機械系統(tǒng)、光學和微流體學，目前致力于研發(fā)新藥的非標定檢測系統(tǒng)方面的研究。與芯片之間的比較美國CascadeMicrotech公司的CaliSartor認為，當今生命科學領(lǐng)域的微流體與20年前工業(yè)領(lǐng)域的半導...

先前報道了微流控芯片的另一項采用體外細胞培養(yǎng)技術(shù)的研究，其中軸突和體細胞被物理分離，從而允許軸突通過微通道。借助這項技術(shù)，神經(jīng)科學家可以研究軸突本身的特征，或者可以確定藥物對軸突部分的作用，并可以分析軸突切斷術(shù)后的軸突再生。值得一提的是，微通道可能會對組織或細...

ThinXXS公司Thomas Stange博士認為，雖然原型設計價格高且有風險，微制造技術(shù)已不再是微流控產(chǎn)品商業(yè)化生產(chǎn)的主要障礙。對于他們公司所操縱的高價藥品測試和診斷市場，校準和工藝慣性才是主要的障礙。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片產(chǎn)品QPlat...

Lee等人先前解釋說，與2D模型相比，微流控3D技術(shù)中腎單位的藥效學和病理生理學反應更為實用。KoC已被開發(fā)并證明可顯示出更好的藥物腎毒性體內(nèi)后果，該系統(tǒng)已被進一步用于確定各種藥物誘導的生物反應。此外，它還有助于培養(yǎng)近端小管，用于觀察預測藥物誘導的腎損傷（DI...

微流控芯片是微流控技術(shù)實現(xiàn)的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結(jié)構(gòu)（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結(jié)構(gòu)，流體在其中顯示和產(chǎn)生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出獨特的分析產(chǎn)生的性能。微流控芯片的特點及發(fā)展優(yōu)...

微流控分析芯片當初只是作為納米技術(shù)的一個補充，在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical syste...

皮膚微流控芯片（SoC）：SoC是一種生物工程模型，其中皮膚組織在微流控系統(tǒng)內(nèi)培養(yǎng)，其足以模擬天然人類皮膚的3D微環(huán)境。為了制造微型化的SoC模型，將人體皮膚組織整合到微流控平臺上，以便它可以模擬人體皮膚的體內(nèi)條件。傳統(tǒng)的2D模型無法重建體內(nèi)發(fā)現(xiàn)的多重3D細胞...

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發(fā)了另一套微流控分析設備。該設備提供了一個由微反應板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結(jié)構(gòu)工具...

L-Series包括嚴格的機械平臺，集成了顯微鏡技術(shù)、微定位和計量學等方法?？蓱糜谛酒妶龅奈⑿碗娢挥嫞∕icroport）也作為其開發(fā)的副產(chǎn)品。L-Series致力于真正的解決微流控設備開發(fā)者所遇到的難題：構(gòu)造芯片系統(tǒng)和提供實用程序，Sartor說：“若是...

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監(jiān)測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領(lǐng)域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只...

微流控芯片簡介微流控芯片技術(shù)(Microfluidics)是把生物、化學、醫(yī)學分析過程的樣品制備、反應、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上，自動完成分析全過程。由于它在生物、化學、醫(yī)學等領(lǐng)域的巨大潛力，已經(jīng)發(fā)展成為一個生物、化學、醫(yī)...

apparatus（體外組織培養(yǎng)）微流控芯片（OoC）具有幾個優(yōu)點，即微流控裝置內(nèi)的隔室增強了對微環(huán)境的控制，對物理條件的精確控制以及對不同組織之間通信的有效操縱。它還可以提供營養(yǎng)和氧氣，為apparatus提供生長元素，同時消除分解代謝產(chǎn)物。OoC的應用可能...

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經(jīng)觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術(shù)在心...

先前報道了微流控芯片的另一項采用體外細胞培養(yǎng)技術(shù)的研究，其中軸突和體細胞被物理分離，從而允許軸突通過微通道。借助這項技術(shù)，神經(jīng)科學家可以研究軸突本身的特征，或者可以確定藥物對軸突部分的作用，并可以分析軸突切斷術(shù)后的軸突再生。值得一提的是，微通道可能會對組織或細...

目前微流控創(chuàng)新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據(jù)報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創(chuàng)新在之前的COVID 19大流行形勢中發(fā)揮著重要作用，特別是在cu...

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用...