干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣,主要有以下幾個(gè)方面: 1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求; 4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。 干式真空泵的各種系列應(yīng)用領(lǐng)域還是不一樣的。北京干式真空泵代理商 日本KASHIYAMA MU...
為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。此為立式雙螺桿干式真空泵,它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。干式真空泵工作時(shí),相互之間無摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu),與等螺距結(jié)構(gòu)相比,極限真空更高,而消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵...
干式無油真空泵。工作泵腔無油無水,既不會(huì)對(duì)真空室產(chǎn)生污染,更不會(huì)污染抽取介質(zhì)。且配套少,也可直排大氣。雖然短期的購置投入成本超過傳統(tǒng)真空泵,但后期的使用維護(hù)成本,干式無油真空泵卻要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低出,而且時(shí)間越久,后期成本差異就愈加明顯。 干式無油螺桿真空泵是一種干式作業(yè)、無觸摸、等螺距的螺桿型真空泵。兩螺桿經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理,由軸承支撐,設(shè)備在泵殼中,螺桿與螺桿之間有一定空隙,泵作業(yè)作業(yè)平穩(wěn),相互無沖,作業(yè)腔無介質(zhì)。因此,干式無油螺桿真空泵能抽除含有許多可凝性氣體及粉塵的氣體,是環(huán)境友好型、節(jié)能型真空泵。它比油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復(fù)式真空泵等型號(hào)真空泵...
日本KASHIYAMASDE804060干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù): 式樣 SDE804060 MAX排氣速度(L/min) 190000 達(dá)到壓力(Pa) 0.5 ...
日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:MU30N18P/H MAX排氣速度(L/min):50000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V 消費(fèi)電力(KW):1.6KW 外型尺寸WHL [mm]:1000×450×950 質(zhì)量【kg】:410kg 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 ...
日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:MU600P/H MAX排氣速度(L/min):10000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V 消費(fèi)電力(KW):0.95KW 外型尺寸WHL [mm]:350×520×630 質(zhì)量【kg】:130kg 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 ...
日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:SDE20M09X MAX排氣速度(L/min):30000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V,380-480V 消費(fèi)電力(KW):2.6KW 外型尺寸WHL [mm]:460×960×900 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 數(shù)...
干式機(jī)械真空泵(又簡稱干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。 2013年止,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)...
日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:SDL36E60 MAX排氣速度(L/min):60000 達(dá)到壓力(Pa):0.8 電源電壓:3相 AC200-220V,380-480V 外型尺寸WHL [mm]:850×1295×1370 重量(kg):920 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 ...
日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣 SDE30N20 MAX排氣速度(L/min) 50000 達(dá)到壓力(Pa) 0.5 ...
日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:SDE20M09X MAX排氣速度(L/min):30000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V,380-480V 消費(fèi)電力(KW):2.6KW 外型尺寸WHL [mm]:460×960×900 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 數(shù)...
近期很多朋友咨詢反饋?zhàn)约荷a(chǎn)中的液環(huán)式真空泵由于夏天溫度高,真空度上不去,葉輪也由于腐蝕和氣蝕經(jīng)常換,用的無油螺桿泵、爪泵轉(zhuǎn)子經(jīng)常被卡死盤不動(dòng)車,而且由于腐蝕真空度上不去,排氣口還有噴油現(xiàn)象。種種現(xiàn)象維修雖然花不了多少錢,但是影響生產(chǎn),一個(gè)班組的人都等著泵修好,下面的人瞪著眼看著,上面領(lǐng)導(dǎo)臉色又不好,很是尷尬難受!因此我們這一輯內(nèi)容就來為大家介紹干式真空泵,干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能...
日本KASHIYAMASDE30M09X干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù): 式樣 SDE30M09X MAX排氣速度(L/min) 45000 達(dá)到壓力(Pa) 0.5 ...
日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣 SDL12E50/60 MAX排氣速度(L/min) 25000 達(dá)到壓力(Pa) 0.8 ...
日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:MU20M18P/H MAX排氣速度(L/min):30000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V 消費(fèi)電力(KW):2.0KW 外型尺寸WHL [mm]:500×950×1100 質(zhì)量【kg】:340kg 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 ...
干式真空泵的種類特征 螺桿式:利用螺桿型Rotor進(jìn)行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。 羅茨式:在3片式Rotor和Casing之間的空間運(yùn)送氣體的容積移送式干式真空泵。 爪式:復(fù)數(shù)的爪型Rotor以軸平行排列,進(jìn)行相互逆回轉(zhuǎn)來移送氣體的干式真空泵。 渦旋式:利用渦旋型的Stage及Rotor的運(yùn)動(dòng)組合來進(jìn)行排氣的真空泵。 隔膜式:藉由利用氣缸內(nèi)的隔膜的來回運(yùn)動(dòng)來進(jìn)行排氣的容積移送式真空泵。 活塞式:利用氣缸內(nèi)的活塞的來回運(yùn)動(dòng)來進(jìn)行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。 干式真空泵的各種系列應(yīng)用領(lǐng)域還是不一樣的。蘇州樫山干式真空泵現(xiàn)貨 日本KA...
近期很多朋友咨詢反饋?zhàn)约荷a(chǎn)中的液環(huán)式真空泵由于夏天溫度高,真空度上不去,葉輪也由于腐蝕和氣蝕經(jīng)常換,用的無油螺桿泵、爪泵轉(zhuǎn)子經(jīng)常被卡死盤不動(dòng)車,而且由于腐蝕真空度上不去,排氣口還有噴油現(xiàn)象。種種現(xiàn)象維修雖然花不了多少錢,但是影響生產(chǎn),一個(gè)班組的人都等著泵修好,下面的人瞪著眼看著,上面領(lǐng)導(dǎo)臉色又不好,很是尷尬難受!因此我們這一輯內(nèi)容就來為大家介紹干式真空泵,干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能...
日本KASHIYAMASDE303X干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、技術(shù)參數(shù): 式樣 SDE303X MAX排氣速度(L/min) 5000 達(dá)到壓力(Pa) 0.5 ...
完全電子智能化設(shè)計(jì),可以很方便地多方位與DCS系統(tǒng)聯(lián)接,通過Modem聯(lián)接可以實(shí)現(xiàn)就地和遠(yuǎn)程控制;輔助模塊的模塊化設(shè)計(jì)可以滿足大量的乃至是苛刻的流程的應(yīng)用;設(shè)計(jì)可以滿足不同的壓力要求:壓力比可高達(dá) 100,000:1 (吸入壓力< 0.01 mbar 絕壓);吸氣量可達(dá)1,000 m3/h (更大吸氣量的泵在開發(fā)中,目前可用機(jī)械的增壓泵與干式泵組合來滿足對(duì)大的吸氣量的要求);噪音水平低于75Db(A)(噪音低于好轎車內(nèi)部分貝)維修方便,可以快速和方便地拆卸和更換泵的內(nèi)件。整機(jī)通過歐洲ATEX防爆條例認(rèn)證。KASHIYAMA干式真空泵為日本原裝進(jìn)口干式真空泵。常州樫山干式真空泵代理...
為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。此為立式雙螺桿干式真空泵,它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。干式真空泵工作時(shí),相互之間無摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu),與等螺距結(jié)構(gòu)相比,極限真空更高,而消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵...
日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技術(shù)參數(shù)以及配置清單 一、 NEODRY 15E技術(shù)參數(shù): 式樣:NEODRY 15E Max排氣速度(L/min):250 達(dá)到壓力(Pa):1 電源電壓:單相AC200-220V 外型尺寸WHL [mm]:210×250×385 吸氣口:KF25 噪聲:≤60DB 排氣口:KF25 質(zhì)量【kg】:23kg 二、NEODRY15E 配置清單: 序號(hào) ...
當(dāng)您選擇油封泵時(shí),您應(yīng)該首先了解您的真空系統(tǒng)是否對(duì)油污染有要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等,也能達(dá)到清潔真空要求。當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時(shí),需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。當(dāng)選擇油封真空泵時(shí),要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,應(yīng)該選無油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。干式真空泵的優(yōu)點(diǎn)有很多。上海NEODRY 30E干式真空泵中國授權(quán)代理商 為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空...
干式真空泵與油泵的性能比較 項(xiàng) 目 NeoDry Series 干式真空泵 油 泵 特 征 ○ ?不使用液體密封泵腔,可以得到干凈的真空。 ...
螺桿干式真空泵特征: ①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少,沒有易損件,因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠,壽命長。 ②操作維護(hù)方便。 ③動(dòng)力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。 ④適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn),在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響. ⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙,因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。 干式真空泵的多種系列總有一款是您滿意。上海NEODRY 30E干式真空泵代理商 ...
完全電子智能化設(shè)計(jì),可以很方便地多方位與DCS系統(tǒng)聯(lián)接,通過Modem聯(lián)接可以實(shí)現(xiàn)就地和遠(yuǎn)程控制;輔助模塊的模塊化設(shè)計(jì)可以滿足大量的乃至是苛刻的流程的應(yīng)用;設(shè)計(jì)可以滿足不同的壓力要求:壓力比可高達(dá) 100,000:1 (吸入壓力< 0.01 mbar 絕壓);吸氣量可達(dá)1,000 m3/h (更大吸氣量的泵在開發(fā)中,目前可用機(jī)械的增壓泵與干式泵組合來滿足對(duì)大的吸氣量的要求);噪音水平低于75Db(A)(噪音低于好轎車內(nèi)部分貝)維修方便,可以快速和方便地拆卸和更換泵的內(nèi)件。整機(jī)通過歐洲ATEX防爆條例認(rèn)證。一個(gè)好的干式真空泵需要具備哪些特點(diǎn)您知道嗎?東莞NEODRY 36E干式真空...
通過對(duì)內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持小的內(nèi)部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì),安全的輸送易燃易爆氣體。 1)清潔環(huán)保; 2)真空度高; 3)防腐設(shè)計(jì)(**技術(shù)); 4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體(**技術(shù)); 5)特殊軸封設(shè)計(jì),杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染; 6)防過載設(shè)計(jì); 7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn); 8)高標(biāo)準(zhǔn)配置; 9)附件配置齊全 10)高質(zhì)量健全的零配件供應(yīng)。 浚和(上海)儀器有限公司作為上海一家專業(yè)的干式真空泵供應(yīng)商。成都SDL12...
日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技術(shù)參數(shù)&配置清單 一、 技術(shù)參數(shù): 式樣:MU600P/H MAX排氣速度(L/min):10000 達(dá)到壓力(Pa):0.5 電源電壓:3相 AC200-220V 消費(fèi)電力(KW):0.95KW 外型尺寸WHL [mm]:350×520×630 質(zhì)量【kg】:130kg 二、 配置清單: 序號(hào) 描述 ...
干式真空泵與油泵的性能比較 項(xiàng) 目 NeoDry Series 干式真空泵 油 泵 特 征 ○ ?不使用液體密封泵腔,可以得到干凈的真空。 ...
KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設(shè)備簡介(包括對(duì)功能的基本介紹) SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排氣速度10000L/min,立式螺桿設(shè)計(jì)排氣線路短,不容易發(fā)生卡死。轉(zhuǎn)子材質(zhì)為鎳合金,防腐蝕能力優(yōu)越,使用時(shí)內(nèi)部溫度高,適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。 系統(tǒng)組成: 1) 羅茨泵 (SDE120TX) 1 2) 機(jī)械增壓泵(KMB603) 1 3) 電源盒 1 ...