目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;③中優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;④優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)專業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見是先通過離子交換柱和微過濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過濾便可得到高純水。使用氫氟酸時(shí),必須遵循相應(yīng)的安全操作程序。廣東氫氟酸生產(chǎn)商
那高純氟化氫有多純呢?以前我們都聽說過千足金的說法,也就是純度為99.9%,含有0.1%的雜質(zhì),后來又有人提出萬足金,就是99.99%,含有0.01%的雜質(zhì)。而日本產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.999%甚至更高,這個(gè)在目前較先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工藝中都可以放心使用。而中國目前能生產(chǎn)的較高純度也比這個(gè)純度低十倍左右,而這只是其中一個(gè)指標(biāo),此外還有控制粒徑、顆粒個(gè)數(shù)等指標(biāo)。如前所說,氟化氫的生產(chǎn)并不困難,只需要讓螢石跟硫酸進(jìn)行反應(yīng),就可以制得氟化氫。再用水溶解掉氟化氫,就變成了氫氟酸。這個(gè)生產(chǎn)過程技術(shù)含量并不高,工藝也不復(fù)雜。但生產(chǎn)出來的只是工業(yè)級(jí)的氫氟酸,要想應(yīng)用到電子行業(yè),必須做非常精密的提純。難就難在了提純上。河南電子級(jí)氫氟酸在哪買氫氟酸使用時(shí)必須遵循相應(yīng)的管理制度。
氟化氫的生產(chǎn)并不難,但要想應(yīng)用到電子行業(yè),就必須做到非常精密的提純,而難就難在了提純上?,F(xiàn)行的提純手法主要是利用氟化氫的揮發(fā)性以及不同物質(zhì)沸點(diǎn)不同,采用精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術(shù)對(duì)氟化氫進(jìn)行純化。在此過程中,要把三價(jià)砷的氟化物氧化成五價(jià),避免它跟著氟化氫一起蒸餾出來。然后用高純水溶解氟化氫,再過超濾膜過濾雜質(zhì),之后進(jìn)行檢驗(yàn)和無塵灌裝。在技術(shù)方面,中國是完全有能力生產(chǎn)高純度氟化氫的。但較大的困難在整個(gè)氟化氫產(chǎn)業(yè)鏈條上,高純度氟化氫的生產(chǎn)對(duì)技術(shù)和工藝的要求都非常高,操作中相應(yīng)設(shè)備的運(yùn)行和操作需要緊密結(jié)合才能減少由于操作失誤或者不夠精確對(duì)于氫氟酸的提取產(chǎn)生影響。并且需要長期的測(cè)試。
氫氟酸座為氟化工行業(yè)的關(guān)鍵中間體,其中制冷劑等約占比50%左右,2019年起,下游制冷劑需求持續(xù)疲弱,有部分新增氫氟酸產(chǎn)能投產(chǎn),供過于求下氫氟酸價(jià)格呈現(xiàn)出單邊下滑的態(tài)勢(shì),期間價(jià)格只受制冷劑行情的季節(jié)性變化和偶爾開工受限影響小幅波動(dòng)。2021以來,受全球整體螢石供給下降影響,整體價(jià)格小幅度下降,隨著國外逐步企業(yè)復(fù)工,供需恢復(fù),整體價(jià)格回到每噸11500元左右。就我國氫氟酸進(jìn)出口狀況而言,目前我國氫氟酸主要以出口為主,2021年出口金額穩(wěn)定在4億元左右,主要出口地為日本、韓國和中國臺(tái)灣等地,就進(jìn)口情況而言,隨著優(yōu)越氫氟酸整體(電子級(jí)氫氟酸)需求持續(xù)增長,進(jìn)口量持續(xù)增長,2021年我國電子級(jí)氫氟酸進(jìn)口金額為0.4746億美元,占比總進(jìn)口金額的99.3%以上,主要進(jìn)口來源為韓國、日本等。在使用氫氟酸時(shí)必須遵循相應(yīng)的安全操作程序和應(yīng)急處理程序。
與全球螢石資源比較,中國螢石資源不只儲(chǔ)量豐富,開采條件優(yōu)越,而且雜質(zhì)含量較低,尤其是砷、硫、磷等含量較低,因而開發(fā)價(jià)值較高,產(chǎn)量全球較高。根據(jù)數(shù)據(jù)顯示,2020年世界螢石總產(chǎn)量估計(jì)約760萬噸,中國約430萬噸占世界產(chǎn)量的57%。報(bào)道稱,由于中國螢石雜質(zhì)少,容易加工,此前一直通過在中國的自有工廠加工中國產(chǎn)的螢石來生產(chǎn)氫氟酸,但過度依賴中國也伴隨著風(fēng)險(xiǎn)。因此,開發(fā)出了利用墨西哥產(chǎn)螢石來制造氫氟酸的技術(shù)。墨西哥產(chǎn)螢石含有有毒的砷。將把砷變成固體進(jìn)行廢棄處理。由于處理工序增加,預(yù)計(jì)成本將是中國產(chǎn)螢石的兩倍,還將同時(shí)討論削減成本的措施。如果此次的技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)用化,將很有可能對(duì)穩(wěn)定采購做出貢獻(xiàn)。潑灑氫氟酸的區(qū)域應(yīng)當(dāng)迅速用大量水沖洗,并立即通知應(yīng)急人員。重慶55%氫氟酸廠家排名
在使用氫氟酸的過程中,必須做好相應(yīng)的防護(hù)和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估工作。廣東氫氟酸生產(chǎn)商
生產(chǎn)雕花玻璃過程所依據(jù)的化學(xué)原理是:由于Si—F鍵的鍵能大于Si—O鍵的鍵能,因此,氫氟酸中的F與玻璃中的Si能夠形成性能更為穩(wěn)定的Si—F鍵,迫使SiO2中的Si—O鍵斷裂,生成具有揮發(fā)性能的四氟化硅氣體(SiF4),并放出熱量,該反應(yīng)在常溫下便可進(jìn)行。其化學(xué)反應(yīng)方程式為:SiO2+4HF=SiF4(氣體)+2H2O。那氫氟酸到底是什么呢?氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,為無色透明至淡黃色冒煙液體,具有刺激性氣味。氫氟酸較明顯的特點(diǎn)是腐蝕性非常強(qiáng),它能和大多數(shù)金屬、非金屬發(fā)生反應(yīng)。此外,氫氟酸還對(duì)硅的化合物具有強(qiáng)腐蝕性,將氟化氫氣體溶于水得到的氫氟酸溶液可用于雕刻玻璃,因?yàn)闅浞峥梢耘c玻璃的主要成分二氧化硅發(fā)生反應(yīng),而其他強(qiáng)酸則不能,質(zhì)量濃度為1.5%的氫氟酸溶液即可腐蝕玻璃以達(dá)到雕花的目的。廣東氫氟酸生產(chǎn)商
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