氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測(cè)量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來(lái)源于電路噪聲和本底噪聲。智能氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)

氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定，1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開(kāi)通風(fēng)，降低環(huán)境本底。2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0，即為分子泵不工作?？赡苁乔凹?jí)壓力過(guò)高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng)。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測(cè)儀的燈絲不能正常啟動(dòng)。在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請(qǐng)檢查航空插座和離子源端子是否開(kāi)啟。如果開(kāi)路，請(qǐng)更換燈絲。如果沒(méi)有，請(qǐng)檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。氦檢儀本底漏率值是什么？

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開(kāi)始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問(wèn)題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏問(wèn)題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀，氦檢儀的檢漏工作帶來(lái)很大困難。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。嘉興國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。智能氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。智能氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)