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采用氣體分離工藝可將空氣中的氮?dú)夂脱鯕夥蛛x生產(chǎn)氮?dú)?,通常使用一種特殊處理過的活性碳即碳分子篩分離空氣。碳分子篩的孔徑在氮?dú)夂脱鯕夥肿拥闹睆椒秶鷥?nèi),由于氧分子比氮分子體積小,因此先被吸附在碳分子篩表面。氮分子通過分子篩床層排出進(jìn)入儲(chǔ)罐達(dá)到制氮的目的,氧分子通過設(shè)備解吸排放到大氣內(nèi),達(dá)到分子篩再生的目的。經(jīng)過一段時(shí)間吸附后,碳分子篩被所吸附的氧分子飽和需進(jìn)行再生,再生是通過降壓解吸予以實(shí)現(xiàn)。由于碳分子篩在低壓時(shí)不能再吸附氣體分子,大多數(shù)分子在降壓時(shí)被排空,此種過程稱為脫附。為達(dá)到連續(xù)供氣,通常采用多塔式操作,在吸附筒a處于吸附狀態(tài)時(shí),吸附筒b為脫附狀態(tài),并且利用時(shí)間控制與切換,兩筒互相轉(zhuǎn)換為吸附與脫附狀態(tài)。至于變壓吸附制氮機(jī)生產(chǎn)的氮?dú)鈩t流入氮?dú)獠郏怨┕S制程使用。在開機(jī)時(shí),由于受限于吸附筒內(nèi)存在大量空氣,因此要達(dá)到穩(wěn)定操作時(shí)都需要經(jīng)過一段時(shí)間,例如30分鐘到2個(gè)小時(shí),亦即影響生產(chǎn)時(shí)等待的時(shí)間。此種情況在使用多臺(tái)氮?dú)鈾C(jī)的情況尤其嚴(yán)重,當(dāng)?shù)獨(dú)饬坎粔蚴褂茫毙鑶?dòng)另一臺(tái)氮?dú)鈾C(jī)時(shí),需要花費(fèi)過長的時(shí)間在等待,造成現(xiàn)場氣源不足或純度下降的困境。另一種情況為碳分子篩生產(chǎn)的工廠。工藝先進(jìn)電解池采用立式單液面雙陰極。桂林便捷式氮?dú)夤衤?lián)系方式
氮?dú)夤窬褪峭ㄟ^調(diào)節(jié)氮?dú)庾⑷牍耋w,而達(dá)到除濕防氧化作用。氮?dú)夤裨诎雽?dǎo)體工廠、晶元晶振工廠及精密組部件工廠都有著較普遍的應(yīng)用,其主要用于這些精密部件存放時(shí)的防潮防氧化保護(hù)。對于工廠,這些精密部件的防潮防氧化保存,對于生產(chǎn)的良率及產(chǎn)品的品質(zhì)都有重要的作用。如果氮?dú)夤裨跐穸炔贿_(dá)標(biāo)的情況下,對于柜內(nèi)存放物品的防潮防氧化效果將下降。氮?dú)夤駶穸冗_(dá)不到要求,也就是柜內(nèi)的氮?dú)鉂舛冗_(dá)不到要求。對于一個(gè)有限的密封柜體,其濃度達(dá)不到,也就只有“進(jìn)氣”與“出氣”兩個(gè)原因了?!俺鰵狻笔侵腹褡拥拿芊庑裕?dú)獬淙牒笏莩龅牟糠至?。?dāng)?shù)獨(dú)夤竦囊莩隽刻髸r(shí),柜內(nèi)的氮?dú)鉂舛染蜁?huì)比較低,也就會(huì)濕度低,而無法進(jìn)行很好的防潮防氧化保護(hù)了。“進(jìn)氣”是指氮?dú)夤袼淙氲牡獨(dú)饬坎蛔?。在氮?dú)夤竦氖褂眠^程中,由于柜門的經(jīng)常開啟,導(dǎo)致開關(guān)門逸出的氮量大于充入柜內(nèi)的氮?dú)饬浚簿蜔o法達(dá)到預(yù)期的氮?dú)鉂舛攘?。解決辦法分兩部分,一是柜體的密封性,二是進(jìn)氣量的加大。廣州機(jī)械氮?dú)夤裆a(chǎn)過程遠(yuǎn)離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃。
全功能潔凈氮?dú)夤瘢寒a(chǎn)品應(yīng)用:適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象;由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境,只控制濕度及氧含量濃度這塊,并無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。宏譽(yù)潔凈柜則適合存放需要低濕保存,同時(shí)又需要避免灰塵污染的物品.相關(guān)技術(shù)指標(biāo):1)潔凈等級專業(yè)高效潔凈過濾裝置,濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS10~100(10級一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下,必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH實(shí)驗(yàn)即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過干燥2小時(shí)的硅片不能有不正常或超標(biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對比≦10ea(包括))3)降濕速度除濕性能可達(dá)到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒,在氮?dú)饬髁坎淮笥?0L/M的情況下,濕度從50%降至5%所需時(shí)間小于30min4)進(jìn)口無塵風(fēng)機(jī):采用進(jìn)口無塵室FFU風(fēng)機(jī),面風(fēng)速:~;5)靜電殘余值測定松鑫全功能潔凈氮?dú)夤駶崈舻獨(dú)夤駜?nèi)放置的硅片盒,經(jīng)過干燥2小時(shí)后,硅片盒取樣及定點(diǎn)測試靜電值必須≦1kv6)柜內(nèi)風(fēng)速均勻性潔凈柜內(nèi)不能有氮?dú)獾乃澜恰?/p>
深冷空分制氮原理:分子篩制氮機(jī)工藝流程圖深冷制氮不但可以生產(chǎn)氮?dú)舛铱梢陨a(chǎn)液氮,滿足需要液氮的工藝要求,并且可在液氮貯槽內(nèi)貯存,當(dāng)出現(xiàn)氮?dú)忾g斷負(fù)荷或空分設(shè)備小修時(shí),貯槽內(nèi)的液氮進(jìn)入汽化器被加熱后,送入產(chǎn)品氮?dú)夤艿罎M足工藝裝置對氮?dú)獾男枨?。深冷制氮的運(yùn)轉(zhuǎn)周期(指兩次大加溫之間的間隔期)一般為1年以上,因此,深冷制氮一般不考慮備用。而變壓吸附制氮只能生產(chǎn)氮?dú)?,無備用手段,單套設(shè)備不能保證連續(xù)長周期運(yùn)行。膜空分制氮原理:空氣經(jīng)壓縮機(jī)壓縮過濾后進(jìn)入高分子膜過濾器,由于各種氣體在膜中溶解度和擴(kuò)散系數(shù)不同,導(dǎo)致不同氣體在膜中相對滲透速率不同。根據(jù)這一特性,可將各種氣體分為“快氣”和“慢氣”。當(dāng)混合氣體在膜兩側(cè)壓力差的作用下,滲透速率相對快的氣體,如水、氫氣、氦氣、硫化氫、二氧化碳等透過膜后,在膜的滲透側(cè)被富集,而滲透速率相對較慢的氣體,如甲烷、氮?dú)?、一氧化碳和氬氣等氣體則被滯留在膜的側(cè)被富集,從而達(dá)到混合氣體分離的目的。全部工作過程均有程序控制完成。
防靜電防氧化氮?dú)夤癖砻嫣幚聿捎孟冗M(jìn)的自動(dòng)涂裝線噴涂.嚴(yán)格的表面處理.led氮?dú)夤?釆用防靜電粉未噴涂,耐腐蝕性極強(qiáng).電阻值為10的6次方-10的9次方歐姆,采用專業(yè)的防靜腳輪.接地線.搭地金屬鏈.氮?dú)夤?jié)約裝置,當(dāng)箱內(nèi)濕度到達(dá)設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng),,氮?dú)鈨?chǔ)存柜,當(dāng)超過設(shè)定值時(shí),系統(tǒng)會(huì)智能打開氮?dú)夤?yīng)。相比市場其他直充氮?dú)夤窨晒?jié)約50%以上氮?dú)庀牧俊4蠓潭冉档褪褂贸杀?。智能化控制系統(tǒng)釆用與電子防潮箱相同智能化控制系統(tǒng)??稍O(shè)定并自動(dòng)采集箱內(nèi)濕度來決定氮?dú)夤忾y的通斷.從而節(jié)省氮?dú)猓娱L產(chǎn)品使用壽命。產(chǎn)品的擴(kuò)展防氧化氮?dú)夤窨蓴U(kuò)展成氮?dú)夥莱苯M合柜.在不通氮?dú)獾那闆r下.可當(dāng)作電子防潮箱使用.從而節(jié)約了投資及使用成本。不銹鋼氮?dú)夤癯薪痈黝惙菢?biāo)柜,柜體材料可選用不銹鋼.柜體顏色可根椐客戶要求定噴。充氮系統(tǒng)可按客戶要求加裝自動(dòng)或人工充氮系統(tǒng)。三亞定制氮?dú)夤衲睦锖?/p>
防止氣體泄漏到工作場所空氣中。桂林便捷式氮?dú)夤衤?lián)系方式
氮?dú)饫砘再|(zhì)編輯氮?dú)馕锢硇再|(zhì)氮?dú)庠诔r下是一種無色無味的氣體,熔點(diǎn)是63K,沸點(diǎn)是77K,臨界溫度是126K,難于液化。溶解度很小,常壓下在283K時(shí)一體積水可溶解。氮?dú)馐请y液化的氣體。氮?dú)庠跇O低溫下會(huì)液化成無色液體,進(jìn)一步降低溫度時(shí),更會(huì)形成白色晶狀固體。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)?。氮?dú)饣瘜W(xué)性質(zhì)由氮元素的氧化態(tài)-吉布斯自由能圖也可以看出,除了NH4+離子外,氧化數(shù)為0的N2分子在圖中曲線的低點(diǎn),這表明相對于其它氧化數(shù)的氮的化合物來講的話,N2是熱力學(xué)穩(wěn)定狀態(tài)結(jié)構(gòu)。氧化數(shù)為0到+5之間的各種氮的化合物的值都位于HNO3和N2兩點(diǎn)的連線(圖中的虛線)的上方。因此,這些化合物在熱力學(xué)上是不穩(wěn)定的,容易發(fā)生歧化反應(yīng)。在圖中的一個(gè)比N2分子值低的是NH4+離子。正價(jià)氮呈酸性,負(fù)價(jià)氮呈堿性。由氮分子中三鍵鍵能很大,不容易被破壞,因此其化學(xué)性質(zhì)十分穩(wěn)定,只有在高溫高壓并有催化劑存在的條件下,氮?dú)獬煞挚梢院蜌錃夥磻?yīng)生成氨。桂林便捷式氮?dú)夤衤?lián)系方式
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