磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)磁控濺射的構(gòu)成例(W35系列)對(duì)樹(shù)脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控濺射方法形成透明導(dǎo)電膜(ITO,ZnO等)?光學(xué)膜(SiO2,SiOx,NbOx等)鍍膜的磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)。磁控濺射法,采用各種陰極(DC,UBM,DMS,旋轉(zhuǎn)磁石),進(jìn)行觸摸屏?FPD?太陽(yáng)能電池?窗膜等所必須的透明導(dǎo)電膜(TCO)?光學(xué)膜?氧化膜?金屬膜的鍍膜。聚集了從面向R&D?實(shí)驗(yàn)性生產(chǎn)的小型裝置到面向?qū)挿?大型卷繞鍍膜機(jī),對(duì)應(yīng)柔性電子?能源領(lǐng)域的研究開(kāi)發(fā)直到量產(chǎn)的需求。特征1.可搭載各種陰極1)UBMS(非平衡磁控濺射)根據(jù)非平衡磁場(chǎng)增大基材附近的等離子密度。膜表面的能量輔助效果使得薄膜特性提高。BM和UBM的比較2)DMS(雙磁石磁控濺射)在鍍絕緣膜等反應(yīng)性磁控濺射鍍膜時(shí),將2臺(tái)磁控濺射蒸發(fā)源交替放電,實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定放電?高速鍍膜。3)旋轉(zhuǎn)磁石利用圓柱靶的圓周,提高材料效率。通過(guò)投入高能量實(shí)現(xiàn)高速鍍膜??梢訢MS化。2.前處理機(jī)能通過(guò)脫氣,離子源照射?等離子照射實(shí)現(xiàn)密著性改善機(jī)能。裝置陣容1.面向R&D?實(shí)驗(yàn)性生產(chǎn)的卷繞鍍膜機(jī)(W35系列)面向R&D?實(shí)驗(yàn)性生產(chǎn)的卷繞鍍膜機(jī)(W35系列)小型?節(jié)省空間基膜寬度:350mm。卷繞鍍膜機(jī)使用時(shí)的注意事項(xiàng)?口碑好卷繞鍍膜機(jī)服務(wù)
卷繞鍍膜機(jī)的主要特點(diǎn):1、卷饒系統(tǒng)采用高精度支流或交流變頻調(diào)速,具有運(yùn)行平穩(wěn)、速度高、對(duì)原卷材不劃傷、不折皺,收卷端面整齊等特點(diǎn);2、張力控制采用進(jìn)口數(shù)字張力控制系統(tǒng),具有張力、線速度恒定,動(dòng)作快速的特點(diǎn);3、各組送絲由微機(jī)電機(jī)控制,可總調(diào)或單獨(dú)調(diào)速,并有速度顯示;4、真空系統(tǒng)配置精良,抽氣速度快,采用PLC控制;5、配備大功率電源,鍍膜效率高,膜層均勻性好。蒸發(fā)、磁控系列卷繞鍍膜設(shè)備主要用于在塑料、布、紙、金屬箔等帶狀材料表面鍍制金屬膜。產(chǎn)品用于包裝、印刷、防偽、紡織、電子工業(yè)和建材行業(yè)等領(lǐng)域。本系列設(shè)備具有運(yùn)行平穩(wěn)、收放鍍膜平齊、膜層均勻、生產(chǎn)周期短、能耗低、操作維護(hù)方便。山西卷繞鍍膜機(jī)參數(shù)卷繞鍍膜機(jī)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。
離子源(英文名稱:Ionsource)是使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機(jī)、離子束刻蝕裝置、離子推進(jìn)器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備的不可缺少的部件。氣體放電、電子束對(duì)氣體原子(或分子)的碰撞,帶電粒子束使工作物質(zhì)濺射以及表面電離過(guò)程都能產(chǎn)生離子,并被引出成束。根據(jù)不同的使用條件和用途,已研制出多種類型的離子源。使用較廣的有弧放電離子源、PIG離子源、雙等離子體離子源和雙彭源這些源都是以氣體放電過(guò)程為基礎(chǔ)的,常被籠統(tǒng)地稱為弧源。高頻離子源則是由氣體中的高頻放電來(lái)產(chǎn)生離子的,也有很廣的用途。新型重離子源的出現(xiàn),使重離子的電荷態(tài)明顯提高,其中較成熟的有電子回旋共振離子源(ECR)和電子束離子源(EBIS)。負(fù)離子源性能較好的有轉(zhuǎn)荷型和濺射型兩種。在一定條件下,基于氣體放電過(guò)程的各種離子源,都能提供一定的負(fù)離子束流。離子源是一門具有較廣應(yīng)用領(lǐng)域的學(xué)科,在許多基礎(chǔ)研究領(lǐng)域如原子物理、等離子化學(xué)、核物理等研究中,離子源都是十分重要不可缺少的設(shè)備。
在大面積基板上可制取均勻薄膜,放電電流隨壓強(qiáng)和電壓的改變而變化;2)三極或四極濺射??蓪?shí)現(xiàn)低氣壓,低電壓濺射,可**控制放電電流和轟擊靶的離子能量??煽刂瓢须娏?,也可進(jìn)行射頻濺射;3)磁控濺射(或高速,低溫濺射)。在與靶表面平行的方向上施加磁場(chǎng),利用電場(chǎng)與磁場(chǎng)正交的磁控管原理,減少電子對(duì)基板的轟擊,實(shí)現(xiàn)高速低溫濺射;4)對(duì)向靶濺射。兩個(gè)靶對(duì)向放置,在垂直于靶的表面方向加磁場(chǎng),可以對(duì)磁性材料等進(jìn)行高速低溫濺射;5)射頻濺射。為制取絕緣薄膜,如氧化硅,氧化鋁,玻璃膜等而研制,也可濺射金屬;6)反應(yīng)濺射。可制作陰極物質(zhì)的化合物薄膜,如氮化鈦,碳化硅,氮化鋁,氧化鋁等;7)偏壓濺射。鍍膜過(guò)程中同時(shí)***基片上輕質(zhì)量的帶電粒子,從而使基板中不含有不純氣體;8)非對(duì)稱交流濺射。在振幅大的半周期內(nèi)對(duì)靶進(jìn)行濺射,在振幅小的半周期內(nèi)對(duì)基片進(jìn)行離子轟擊,***吸附的氣體,以獲得高純薄膜;9)離子束濺射。在高真空下,利用離子束濺射鍍膜,是非等離子體狀態(tài)下的成膜過(guò)程。靶接地電位也可;10)吸氣濺射。利用對(duì)濺射粒子的吸氣作用,除去不純物氣體,能獲得純度高的薄膜。3.離子鍍膜離子鍍膜技術(shù)是美國(guó)Sandia公司的。卷繞鍍膜機(jī)使用注意事項(xiàng)?
以滿足不同的需要.為了消除光學(xué)零件表面的反射損失,提高成像質(zhì)量,涂鍍一層或多層透明介質(zhì)膜,稱為增透膜或減反射膜.隨著激光技術(shù)的發(fā)展,對(duì)膜層的反射率和透過(guò)率有不同的要求,促進(jìn)了多層高反射膜和寬帶增透膜的發(fā)展.為各種應(yīng)用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等.光學(xué)零件表面鍍膜后,光在膜層層上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜層的折射率和厚度,可以得到不同的強(qiáng)度分布,這是干涉鍍膜的基本原理.三、方法和材料的區(qū)別1、真空鍍膜的方法材料:(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達(dá)到約.(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對(duì)面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內(nèi),保持壓強(qiáng)約.(3)化學(xué)氣相沉積:通過(guò)熱分解所選定的金屬化合物或有機(jī)化合物,獲得沉積薄膜的過(guò)程.(4)離子鍍:實(shí)質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機(jī)結(jié)合,兼有兩者的工藝特點(diǎn).表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點(diǎn).2、常見(jiàn)的光學(xué)鍍膜材料(1)氟化鎂:無(wú)色四方晶系粉末,純度高,用其制光學(xué)鍍膜可提高透過(guò)率,不出崩點(diǎn).(2)二氧化硅:無(wú)色透明晶體,熔點(diǎn)高,硬度大,化學(xué)穩(wěn)定性好.純度高,用其制備高質(zhì)量Si02鍍膜,蒸發(fā)狀態(tài)好。卷繞鍍膜機(jī)設(shè)備保養(yǎng)價(jià)格?遼寧卷繞鍍膜機(jī)廠家直銷
卷繞鍍膜機(jī)的廠家如何選擇?口碑好卷繞鍍膜機(jī)服務(wù)
通過(guò)控制擋板。可精確地做出所需成分和結(jié)構(gòu)的單晶薄膜。分子束外延法用于制造各種光集成器件和各種超晶格結(jié)構(gòu)薄膜。濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時(shí)能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。濺射現(xiàn)象于1870年開(kāi)始用于鍍膜技術(shù),1930年以后由于提高了沉積速率而逐漸用于工業(yè)生產(chǎn)。常用的二極濺射設(shè)備如圖3[二極濺射示意圖]。通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑?duì)靶面的陽(yáng)極上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽(yáng)極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地??诒镁砝@鍍膜機(jī)服務(wù)