在清洗上,晶圓表面的潤濕性對(duì)晶圓也會(huì)有一定的影響,親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進(jìn)行接觸,達(dá)到更理想有效的清洗效果;反之,疏水性表面與清洗液接觸則會(huì)形成水珠狀液滴,造成清洗效果不佳,會(huì)對(duì)后續(xù)的工藝造成不良影響,導(dǎo)致?lián)p失。因此,表面接觸角的測(cè)量成為了晶圓制造過程中不可或缺的步驟。在半導(dǎo)體晶圓材料的生產(chǎn)和制造過程中,表面的潤濕性是至關(guān)重要的。例如,當(dāng)晶圓上的微電子器件需要被沉積或鍍膜時(shí),若表面潤濕性不良,則會(huì)導(dǎo)致涂層厚度不均或成膜缺陷等問題。接觸角測(cè)量?jī)x是評(píng)估材料表面潤濕性的關(guān)鍵設(shè)備。重慶晟鼎接觸角測(cè)量?jī)x生產(chǎn)廠家
接觸角與表面張力是界面科學(xué)中的兩個(gè)基本概念,它們?cè)诓牧峡茖W(xué)、化學(xué)、物理學(xué)、化工、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。1. 接觸角(CA):接觸角是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角,它是潤濕程度的量度,可以反映出液體與固體之間的相互作用力。2. 表面張力:表面張力是指液體表面分子之間的相互吸引力,這種力會(huì)導(dǎo)致液體表面盡可能地收縮,從而形成球形或凸起;表面張力是決定液體能否浸潤固體的關(guān)鍵因素之一。接觸角與表面張力之間存在著密切的關(guān)系,表面張力的大小與接觸角的大小是相互關(guān)聯(lián)的;實(shí)驗(yàn)表明,液體的表面張力越大,液體與固體之間的接觸角就越小,這是因?yàn)?,表面張力的增大,?huì)使液體分子之間的相互吸引力增強(qiáng),從而使液體更容易與固體接觸,形成較小的接觸角;反之,表面張力越小,液體與固體之間的接觸角就越大。上海粉體接觸角測(cè)量?jī)x原理接觸角測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。
在實(shí)際測(cè)量中,液體樣品在測(cè)試過程中,經(jīng)過的時(shí)間不同擬合的變化。理想情況下,通過自動(dòng)生成的基線繪制處觀圖,來獲得線性關(guān)系。根據(jù)該線坡度計(jì)算接觸角和入滲速率。此外,為了計(jì)算接觸角,除了液體表面張力和粘度值外,還需要填充粉末的毛細(xì)管半徑值。該毛細(xì)管半徑值通過測(cè)量粉末的足夠濕的液體并將接觸角視為0°來進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)定。晟鼎接觸角測(cè)試,是左右兩邊一并測(cè)試,然后計(jì)算出平均角度。只要簡(jiǎn)單幾步,滴液,上升樣品平臺(tái),一鍵擬合基線測(cè)試,直觀的測(cè)試軟件就可以真實(shí)地反應(yīng)出左右兩邊的測(cè)試數(shù)據(jù)。SDC200接觸角測(cè)量?jī)x:可測(cè)試多種不同的液體對(duì)應(yīng)材料的接觸角,在視頻攝像機(jī)視頻圖像中提供了液滴的雙重曝光。通過分離顏色通道,以幾微秒的間隔獲得相同液滴的離散圖像。常規(guī)意義上的接觸角測(cè)量?jī)x是指通過視頻攝像的方式,將形成的液滴圖像捕捉后,再通過圖像識(shí)別算法,將液滴輪廓圖像的邊緣輪廓識(shí)別后,再采用相應(yīng)的分析算法將接觸角值分析得出的測(cè)試儀器。
視頻光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x,是通過光學(xué)外觀投影的原理,對(duì)液體與固體樣品的輪廓進(jìn)行分析的過程,這也是視頻光學(xué)測(cè)量?jī)x的測(cè)試原理。通過記錄液滴圖像并且自動(dòng)分析液滴的形狀,用液滴輪廓擬合方法對(duì)獲得的圖像進(jìn)行分析,測(cè)定接觸角和表面張力。作為光學(xué)方法,光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度取決于圖片質(zhì)量和分析軟件。視頻光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x使用一個(gè)高質(zhì)量的單色冷LED光源,在實(shí)際測(cè)試過種中,為了避免重力影響,我們都是應(yīng)用1微升到2微升的液滴進(jìn)行測(cè)試,為了避免小水滴揮發(fā),使用冷光源可讓水滴蒸發(fā)量降低。同時(shí),高分辨率數(shù)碼鏡頭、高質(zhì)量的光學(xué)器件和液體擬合方法確保了圖片質(zhì)量。這個(gè)投影屏幕千分計(jì)帶有一個(gè)可調(diào)式標(biāo)本夾,能夠在垂直方向或軸向上對(duì)準(zhǔn)圖像;通過滑動(dòng)屏幕可在水平方向上調(diào)整圖像。接觸角測(cè)量?jī)x的精度直接影響材料表面性質(zhì)研究的準(zhǔn)確性。
作為光學(xué)方法,光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度取決于圖片質(zhì)量和分析軟件。視頻光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x使用一個(gè)高質(zhì)量的單色冷LED光源,在實(shí)際測(cè)試過種中,為了避免重力影響,我們都是應(yīng)用1微升到2微升的液滴進(jìn)行測(cè)試,,為了避免小水滴揮發(fā),使用冷光源可讓水滴蒸發(fā)量降低。同時(shí),高分辨率數(shù)碼鏡頭、高質(zhì)量的光學(xué)器件和液體擬合方法確保了圖片質(zhì)量。這個(gè)投影屏幕千分計(jì)帶有一個(gè)可調(diào)式標(biāo)本夾,能夠在垂直方向或軸向上對(duì)準(zhǔn)圖像;通過滑動(dòng)屏幕可在水平方向上調(diào)整圖像。鎖定旋鈕可將投影液滴固定在位。若要讀取液滴角度,您需要找準(zhǔn)從圖像拐角接觸點(diǎn)到圖像高點(diǎn)之間的切線;請(qǐng)用專門校準(zhǔn)的分度器標(biāo)尺測(cè)量角度?!白畏ā笔侵敢旱巫湓诠腆w表面的測(cè)試方法,又分為靜態(tài)接觸角與動(dòng)態(tài)接觸角兩種測(cè)量方式。湖北晟鼎接觸角測(cè)量?jī)x生產(chǎn)廠家
液滴在傾斜表面上剛好發(fā)生滾動(dòng)時(shí),傾斜表面與水平面所形成的臨界角度。重慶晟鼎接觸角測(cè)量?jī)x生產(chǎn)廠家
接觸角測(cè)量?jī)x通過光學(xué)投影的原理,對(duì)氣、液、固三相界面輪廓進(jìn)行保真采集精密分析。接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)試方法包括座滴法、增液/縮液法、傾斜法、懸滴法、纖維裹附法、氣泡捕獲法、批量擬合法、插板法等?!白畏ā笔侵敢旱巫湓诠腆w表面的測(cè)試方法,又分為靜態(tài)接觸角與動(dòng)態(tài)接觸角兩種測(cè)量方式。當(dāng)液滴在固體表面達(dá)到穩(wěn)定,沒有明顯的潤濕或吸收行為時(shí),即為此樣品的靜態(tài)接觸角?!皟A斜法”是測(cè)量前進(jìn)角和后退角的其中一種方法,可以通過傾斜樣平臺(tái)或傾斜整個(gè)儀器來完成。當(dāng)液滴開始移動(dòng)時(shí),液滴前端角度為前進(jìn)角,后端角度為后退角。重慶晟鼎接觸角測(cè)量?jī)x生產(chǎn)廠家