所述u形架的下端通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在后罐體的內(nèi)部下側(cè)，所述u形架的外側(cè)固定安裝有刮板，所述刮板的外側(cè)與后罐體、前罐體的內(nèi)表面緊密貼合，所述后罐體和前罐體的上表面外側(cè)均勻開設(shè)有通孔，所述通孔從上至下向外傾斜，所述通孔的內(nèi)部固定安裝有噴頭。推薦的，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括半圓板，所述前罐體的前表面上側(cè)開設(shè)有與半圓板匹配的半圓槽，所述半圓板的上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)軸通孔，所述半圓板的上表面固定安裝有防護(hù)罩和減速電機(jī)，所述防護(hù)罩罩接在減速電機(jī)的外側(cè)，所述減速電機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在轉(zhuǎn)軸通孔的內(nèi)部，所述減速電機(jī)輸出軸的下端與u形架固定裝配。推薦的，所述前罐體的下表面后側(cè)安裝有集料盒，所述集料盒包括出料口，所述出料口的下側(cè)固定安裝有外螺管，所述外螺管的外側(cè)螺接有收集盒。推薦的，所述控制箱的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有清洗箱和泵，所述清洗箱固定安裝在泵的右側(cè)，所述泵通過軟管與噴頭固定裝配。推薦的，所述控制箱、減速電機(jī)、泵通過導(dǎo)線電連接，且控制箱與外部電源連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該磁控濺射真空鍍膜機(jī)，能夠通過清理裝置與驅(qū)動(dòng)裝置的配合，對鍍膜機(jī)腔體內(nèi)壁粘黏的靶材和雜質(zhì)進(jìn)行自動(dòng)刮除清理，不需人力手動(dòng)擦拭。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，鈦鋁，有需要可以咨詢！江蘇汽車車燈真空鍍膜機(jī)哪家好

本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)：目前，真空設(shè)備，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）和pvd（physicalvaporde****ition，物寶來利相沉積）設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個(gè)反應(yīng)腔室，傳動(dòng)部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個(gè)反應(yīng)腔室內(nèi)，這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉，容易造成工藝環(huán)境污染。另外，設(shè)置單個(gè)反應(yīng)腔室時(shí)，由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大，容易造成工藝所需原料的浪費(fèi)，同時(shí)，還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動(dòng)大，不可控因素較多，從而影響工藝過程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室，以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個(gè)反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：一種真空反應(yīng)腔室，包括：用于提供真空環(huán)境的外腔體。硬質(zhì)涂層真空鍍膜機(jī)推薦廠家寶來利光學(xué)纖維真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細(xì)膩有光澤，有需要可以來咨詢！

所述頂蓋遠(yuǎn)離所述鍍膜機(jī)一側(cè)設(shè)有動(dòng)觸點(diǎn)；所述第二連接套內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點(diǎn)，所述靜觸點(diǎn)位于所述寶來利真空凹槽與所述抽氣管之間；所述動(dòng)觸點(diǎn)與外部電源電性連接；所述靜觸點(diǎn)與氣缸電性連接。進(jìn)一步地，所述鍍膜機(jī)靠近所述出氣管的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)及換向器；所述開關(guān)分別與所述換向器及所述真空泵電性連接；所述換向器與所述電磁鐵電性連接。進(jìn)一步地，所述頂蓋側(cè)壁上設(shè)有凹孔。本實(shí)用新型的有益效果在于：通過設(shè)置電磁鐵與磁片，在進(jìn)行鍍膜機(jī)內(nèi)真空抽氣時(shí)，按下開關(guān)，電磁鐵通電產(chǎn)生與磁鐵相同的磁極，利用磁鐵的原理，配合負(fù)壓的作用，打開頂蓋，使得氣體從抽氣管排出，隨后反方向按下開關(guān)，電磁鐵在換向器的作用下改變電流方向，磁極改變，與磁片的磁極相反，在彈簧的推動(dòng)下，頂蓋緊緊蓋在出氣管口上，密封性良好，防止鍍膜機(jī)內(nèi)真空環(huán)境發(fā)生變化，保證鍍膜過程的正常進(jìn)行。附圖說明為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，下面描述中的附圖真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備是本實(shí)用新型的部分實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下。

如圖3所示，所述溫控裝置包括溫控管40，所述溫控管40連接位于外腔體10外的恒溫控制器41。溫控管40的引入口及引出口與外部的恒溫控制器41連接，恒溫控制器41可用于恒溫制冷也可用于恒溫加熱，保證內(nèi)反應(yīng)腔20中的溫度可以持續(xù)恒定，從而使工藝反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的工藝環(huán)境溫度更穩(wěn)定。經(jīng)過在真空鍍膜設(shè)備上的實(shí)際應(yīng)用驗(yàn)證，該真空腔體對于工藝成膜質(zhì)量及鍍膜均勻性均有十分有效的改善和提升。其中，溫控管40包括加熱管和/或冷卻管。一般情況下，在工藝反應(yīng)過程中，通常需要升溫以完成相關(guān)的工藝反應(yīng)，因此，溫控管40包括必要的加熱管，而冷卻管可以根據(jù)實(shí)際的工藝需要選選擇性地添加即可。例如，若在工藝反應(yīng)過程中，需要進(jìn)行快速降溫，此時(shí)可以設(shè)置冷卻管。所述加熱管非限制性地例如可以為電加熱管、水加熱管或油加熱管。冷卻管例如可以為水冷卻管或油冷卻管。為了增加溫控效果，第二側(cè)壁22和第二底板21處均設(shè)有溫控管40。其中，所述溫控管40纏繞于所述第二側(cè)壁22的外部，且所述溫控管40鋪設(shè)于所述第二底板21的底部。除上述纏繞方式外，還可以用埋設(shè)的方式鋪設(shè)加熱管，例如，所述第二底板21內(nèi)和所述第二側(cè)壁22內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管40的通道，所述溫控管40埋設(shè)于所述通道內(nèi)。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，AR反射膜，有需要可以咨詢！

因此可以有效減少工藝原料的浪費(fèi)，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同時(shí)，由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少，可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度，使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化，進(jìn)而提高工藝質(zhì)量。附圖說明此處的附圖被并入說明書中并構(gòu)成本說明書的一部分，示出了符合本實(shí)用新型的實(shí)施例，并與說明書一起用于解釋本實(shí)用新型的原理。為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示結(jié)構(gòu)中的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為設(shè)置于第二底板底部的溫控管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖標(biāo)：10-外腔體；11-寶來利真空底板；12-寶來利真空側(cè)壁；13-傳送裝置；20-內(nèi)反應(yīng)腔；21-第二底板；22-第二側(cè)壁；23-自動(dòng)門；30-密封蓋板；40-溫控管；41-恒溫控制器。具體實(shí)施方式為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和***更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，衛(wèi)浴潔具鍍膜，有需要可以咨詢！硬質(zhì)涂層真空鍍膜機(jī)推薦廠家

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電磁鐵122頂出磁片223，頂蓋22離開出氣管11口，空氣及粉塵從出氣管11排出，當(dāng)頂蓋22的動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123接觸時(shí)，氣缸53通電，伸出伸縮軸，利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出，粉塵遇水沉降落入沉降管51底部，鍍膜機(jī)1內(nèi)達(dá)到相應(yīng)的真空度時(shí)，反方向按下開關(guān)13，電磁鐵122在換向器的作用下電流改變，磁極改變，產(chǎn)生與磁片223相反的磁極，電磁鐵122與磁片223相吸，此時(shí)真空泵4斷電，動(dòng)、靜觸點(diǎn)斷開，氣缸53斷電，頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實(shí)施例中，開關(guān)13為雙向開關(guān)，往一方向按下時(shí)，真空泵4與電磁鐵122均通電，往另一方向按下時(shí)，真空泵4斷電，電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變，產(chǎn)生相反的磁極。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖2可得，寶來利真空連接套12遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有寶來利真空安裝位121；寶來利真空安裝位121位于出氣管11兩側(cè)；寶來利真空安裝位121內(nèi)固定有電磁鐵122；頂蓋22靠近鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有第二安裝位222；第二安裝位222與寶來利真空安裝位121位置相對應(yīng)；第二安裝位222內(nèi)固定有磁片223；電磁鐵122與磁片223分別通過膠水固定在寶來利真空安裝位121以及第二安裝位222中；利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理，控制頂蓋22的關(guān)閉和打開。江蘇汽車車燈真空鍍膜機(jī)哪家好