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來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-16

所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空反應(yīng)腔室,其結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20;所述內(nèi)反應(yīng)腔20的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門23,所述自動(dòng)門23連接自動(dòng)門控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動(dòng)門23進(jìn)入所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。本實(shí)施方式提供的真空反應(yīng)腔室,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔20為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內(nèi)反應(yīng)腔20中的區(qū)域?yàn)楣に嚪磻?yīng)區(qū),形成相對封閉的工藝環(huán)境,相關(guān)工藝反應(yīng)在內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動(dòng)門23進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,AR反射膜,有需要可以咨詢!上海手機(jī)后蓋真空鍍膜機(jī)哪家強(qiáng)

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還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖:圖1為本實(shí)施例中一種真空鍍膜設(shè)備的主視示意圖;圖2為本實(shí)施例中圖1中a處的放大示意圖;圖3為本實(shí)施例中圖1中b處的放大示意圖;圖4為本實(shí)施例中頂蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和***更加清楚,下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的部分實(shí)施例,而不是全部實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的如圖1和圖2所示,構(gòu)造一種真空鍍膜設(shè)備,包括鍍膜機(jī)1;鍍膜機(jī)1底部設(shè)有出氣管11;出氣管11上設(shè)有寶來利真空連接套12;寶來利真空連接套12上設(shè)有第二連接套2;第二連接套2中設(shè)有頂蓋22,頂蓋22與寶來利真空連接套12之間通過磁吸連接;第二連接套2遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有抽氣管3;抽氣管3遠(yuǎn)離第二連接套2一側(cè)設(shè)有真空泵4;抽氣管3內(nèi)靠近真空泵4一側(cè)設(shè)有寶來利真空過濾網(wǎng)41;抽氣管3遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有沉降組件;在抽真空時(shí),按下開關(guān)13,啟動(dòng)真空泵4,電磁鐵122通電產(chǎn)生與磁片223相同的磁性,利用磁鐵的原理。浙江車燈硅油真空鍍膜機(jī)參考價(jià)品質(zhì)真空鍍膜機(jī)膜層附著力好,請選丹陽市寶來利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來咨詢考察!

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然后將基板2推入兩個(gè)限位板10之間的限位槽內(nèi),并關(guān)閉密封門5,打開抽風(fēng)機(jī)21,將腔體1內(nèi)的空氣抽出,通過控制面板使加熱器工作通過加熱板14加熱坩堝3進(jìn)行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來利真空伸縮桿10工作,帶動(dòng)活動(dòng)板9運(yùn)動(dòng),使坩堝3運(yùn)動(dòng)至防護(hù)框7內(nèi),然后第二伸縮桿11工作,推動(dòng)寶來利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運(yùn)動(dòng),使防護(hù)框7密封,然后即可打開密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說明的是,在本文中,諸如寶來利真空和第二等之類的關(guān)系術(shù)語寶來利寶來利用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不寶來利包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

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在操作真空鍍膜機(jī)時(shí),確保安全是至關(guān)重要的。以下是一些在操作真空鍍膜機(jī)過程中需要注意的關(guān)鍵安全事項(xiàng):設(shè)備啟動(dòng)與關(guān)閉:在開啟真空鍍膜機(jī)之前,應(yīng)確保所有安全防護(hù)裝置完好無損且處于正常工作狀態(tài)。啟動(dòng)后,應(yīng)密切關(guān)注設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),如有異常應(yīng)立即停機(jī)處理。操作結(jié)束后,務(wù)必按照規(guī)定的程序關(guān)閉真空鍍膜機(jī),包括切斷電源、水源等。真空環(huán)境操作:真空鍍膜機(jī)通常在真空環(huán)境下工作,因此操作時(shí)應(yīng)避免在設(shè)備運(yùn)行時(shí)打開或拆卸設(shè)備部件,以防止真空環(huán)境被破壞或有毒有害氣體泄漏。同時(shí),要確保真空室的密封性良好,防止外界雜質(zhì)進(jìn)入。高溫與高壓:鍍膜過程中可能會涉及高溫和高壓操作,因此操作人員必須嚴(yán)格遵守操作規(guī)程,不得隨意調(diào)整溫度和壓力。同時(shí),要保持與加熱元件和高壓部件的安全距離,防止?fàn)C傷和壓傷。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,硬質(zhì)鍍膜,有需要可以咨詢!浙江手機(jī)屏真空鍍膜機(jī)哪家好

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本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法,例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等,真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面,它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ),利用物理或化學(xué)方法,并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù),為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝,簡單地說,在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射,使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法,稱為真空鍍膜?,F(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備雖然能夠完成鍍膜的工作,但是當(dāng)鍍膜公祖完成后,由于腔體內(nèi)部仍然處于真空狀態(tài),與外界環(huán)境具有一定的壓強(qiáng)差,若過早打開密封門,坩堝溫度依然很高,鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險(xiǎn),若等坩堝降溫后再打開密封門,會耗費(fèi)較多的時(shí)間,影響工作效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,解決了若過早打開密封門,鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險(xiǎn),若等坩堝降溫后再打開密封門,會耗費(fèi)較多的時(shí)間。上海手機(jī)后蓋真空鍍膜機(jī)哪家強(qiáng)

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