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圖5為本實用新型實施例提供的溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖。圖中:1為多晶硅層,2為氧化層,21為***氧化層,22為第二氧化層,23為**氧化層,3為光刻膠。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。圖4示出了本實施例提供的一種溝槽柵igbt示意圖,包括半導(dǎo)體襯底和設(shè)置在半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)的兩個溝槽柵結(jié)構(gòu),兩個溝槽柵結(jié)構(gòu)對稱,溝槽柵結(jié)構(gòu)設(shè)置有多晶硅層1和包圍多晶硅層1的氧化層2,氧化層包括***氧化層21和第二氧化層22,***氧化層21設(shè)置在溝道區(qū),第二氧化層22設(shè)置在非溝道區(qū),第二氧化層22的厚度大于***氧化層21的厚度,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實施例提供的溝槽柵igbt氧化層2的厚度大于現(xiàn)有技術(shù)中的厚度,因此本實施例的結(jié)電容更小。需要說明的是,本實施例減小結(jié)電容的方式是通過增加溝槽內(nèi)非溝道區(qū)第二氧化層22的厚度,***氧化層21厚度不變,因此本實施例在減小結(jié)電容的同時并不會造成器件整體性能變差。北京哪些是模塊量大從優(yōu)雖然IGBT聽著**,但基本上用電的地方都有IGBT的身影。
作為本實用新型的進一步方案:所述變壓器隔離電路采用高頻隔離變壓器,其副邊有兩個**的繞組,輸出兩路隔離電源。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:本實用新型能夠有效保護igbt模塊,并且該實用新型原邊電路集成了死區(qū)電路、互鎖電路和保護電路,可以提高抗干擾能力,提高驅(qū)動電路可靠性。附圖說明圖1為本實用新型涉及的風電變流器驅(qū)動電路示意圖。圖2為本實用新型涉及的風電變流器的具體驅(qū)動電路。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-2,實施例1:本實用新型實施例中,風電變流器的igbt驅(qū)動電路,包括原邊電路、隔離電路和副邊電路,原邊電路包括死區(qū)電路、互鎖電路、保護電路、15v電源輸入濾波電路和dc/dc電路,隔離電路包括變壓器隔離電路和光耦隔離電路,副邊電路包括±15v驅(qū)動電源、驅(qū)動電路和vce-sat檢測電路。原邊電路包括上下管的死區(qū)電路、互鎖電路和保護電路。
該第二氧化層22的厚度為3000-5000a(如圖5c所示),根據(jù)應(yīng)用端對器件的開關(guān)特性需求,可以對第二氧化層22的厚度進行調(diào)節(jié);s102:沉積光刻膠3(如圖5d所示);s104:去除溝道區(qū)的光刻膠3,保留非溝道區(qū)的光刻膠3,從而保護溝槽內(nèi)非溝道區(qū)的第二氧化層22不被蝕刻;s105:對第二氧化層22進行蝕刻(如圖5f所示),然后去除溝槽內(nèi)非溝道區(qū)保留的光刻膠3(如圖5g所示);s106:在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(如圖5h所示);s107:沉積多晶硅層(如圖5i所示),然后去除表面多余多晶硅層(如圖5j所示)。需要說明的是,本實施例提供的制作方法形成兩種厚度氧化層2沒有新增光刻流程,從而節(jié)省了光罩制作成本。綜上,本實施例提供的溝槽柵igbt及其制作方法可以降低現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)的結(jié)電容大小、提高了器件的開關(guān)特性,從而使得本實用新型可以應(yīng)用于高頻場景。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guān)斷。
死區(qū)電路的作用是:實現(xiàn)上下管驅(qū)動信號有一定的時間間隔td,例如上管驅(qū)動信號關(guān)閉后,需要等待td延時后才能開通下管驅(qū)動信號;互鎖電路的作用是:上下管驅(qū)動信號不能同時為有效,避免產(chǎn)生上下管驅(qū)動直通信號;保護電路的作用是:當副邊出現(xiàn)故障信號是,保護電路能夠同時關(guān)閉上下管驅(qū)動信號。15v電源輸入濾波電路的作用是:對輸入15v電源進行濾波,維持15v電源的穩(wěn)定并且降低emc干擾。dc/dc電路的的作用是:15v電源高頻脈寬調(diào)制dc/dc。隔離電路包括:驅(qū)動光耦、反饋光耦和隔離變壓器。驅(qū)動光耦的作用是:傳遞原邊驅(qū)動信號給副邊電路,電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。反饋光耦的作用是:傳遞副邊故障信號給原邊電路,電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。隔離變壓器的作用是:輸出上下管驅(qū)動電源,電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。副邊電路包括:±15v電源、驅(qū)動電路、vce-sat檢測電路?!?5v電源的作用是:輸出igbt模塊所推薦的驅(qū)動電源。驅(qū)動電路的作用是:副邊驅(qū)動信號放大,推挽輸出。vce-sat檢測電路的作用是:檢測igbt模塊退飽和或過流信號,故障信號反饋給原邊。vce-sat檢測電路分別連接igbt模塊、驅(qū)動電路和光耦隔離電路??梢钥刂齐姍C、變頻器、變壓器、電源、電抗器等電力電子設(shè)備。安徽模塊裝潢
當前市場上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品,一般所說的IGBT也指IGBT模塊。上海模塊零售價
○觸發(fā)板也可接入直流3V電壓和分流器75mV反饋信號進行直流負載的恒電流和恒電壓控制。(請通過JP1和JP3跳線選擇短接S4和S6進行直流閉環(huán)控制)?!鹩|發(fā)板可跟據(jù)不同要求場合取樣。觸發(fā)板還可以與單片機及相應(yīng)檢測傳感器組成外閉環(huán)自動控制系統(tǒng)。2.可選擇三種的輸入模式:○4-20mA輸入。通過JP4跳線選擇短接S1?!?-10V輸入。通過JP4跳線選擇短接S2?!?-5V輸入。通過JP4跳線選擇短接S3。3.可外接溫控保護開關(guān)和復(fù)位開關(guān):(請參考接線圖)。4.軟啟動調(diào)節(jié):觸發(fā)板可通過VR3可調(diào)電阻設(shè)置調(diào)節(jié)軟啟動的時間,順時針方向調(diào)節(jié)為啟動時間更長。5.限流限壓保護:觸發(fā)板通過調(diào)節(jié)VR2設(shè)置限電流和限電壓門檻值,順時針方向調(diào)節(jié)為低。(如使用限壓功能請短接JP2跳線,不用此功能時斷開即可)。6.過流過壓保護:觸發(fā)板通過調(diào)節(jié)VR1設(shè)置過電流和過電壓門檻值,順時針方向調(diào)節(jié)為低。五、異常狀態(tài)排除法1、在較小的輸入控制信號時SCR接近100%輸出:○可能觸發(fā)器在閉環(huán)工作模式狀態(tài)下,沒有接入反饋信號,導(dǎo)致觸發(fā)器積分系統(tǒng)誤判,請接入閉環(huán)反饋信號?!鹩|發(fā)器在閉環(huán)工作模式時,負載電流過小?!饳z查反饋信號是否接正確。2、SCR無輸出,無電流或電壓:○面板PW指示燈不亮,SCR無法工作。上海模塊零售價
江蘇芯鉆時代電子科技有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的****,公司位于昆山開發(fā)區(qū)朝陽東路109號億豐機電城北樓A201,成立于2022-03-29。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國內(nèi)IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。英飛凌,西門康,艾賽斯,巴斯曼目前推出了IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器等多款產(chǎn)品,已經(jīng)和行業(yè)內(nèi)多家企業(yè)建立合作伙伴關(guān)系,目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于多個領(lǐng)域。我們堅持技術(shù)創(chuàng)新,把握市場關(guān)鍵需求,以重心技術(shù)能力,助力電子元器件發(fā)展。我們以客戶的需求為基礎(chǔ),在產(chǎn)品設(shè)計和研發(fā)上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,打造了英飛凌,西門康,艾賽斯,巴斯曼產(chǎn)品。我們從用戶角度,對每一款產(chǎn)品進行多方面分析,對每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計、精心制作和嚴格檢驗。江蘇芯鉆時代電子科技有限公司嚴格規(guī)范IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器產(chǎn)品管理流程,確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團隊,分工明細,服務(wù)貼心,為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。