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來源: 發(fā)布時間:2023-07-15

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    KY3-B2型可控硅移相觸發(fā)板一、概述KY3-B2型三相閉環(huán)觸發(fā)器是引進國外**的**可控硅移相觸發(fā)集成電路。輸出觸發(fā)脈沖具有極高的對稱性和穩(wěn)定性,不隨環(huán)境溫度變化,無相序要求。內(nèi)含完整的缺相、過流、過熱等故障保護功能;具有高精度、功能完善、使用簡單可靠、易調(diào)試、抗干擾性強等優(yōu)點。它可***的應用于工業(yè)各領域的電壓電流調(diào)節(jié),適用于電阻性負載、電感性負載、變壓器一次側(cè)及各種整流裝置等。其主要應用于大功率電源、高頻設備交直流調(diào)壓、鹽浴爐、工頻感應爐、淬火爐、熔融玻璃的溫度加熱控制及各種工業(yè)爐;整流變壓器、調(diào)工機、電爐變壓器一次側(cè)、充磁退磁調(diào)節(jié)、直流電機調(diào)速控制、電機軟啟動節(jié)能裝置;以鎳、鐵鉻、遠紅外發(fā)熱元件及硅鉬棒、硅碳棒等加熱元件的溫度控制等等。二、性能特點○無相序要求限制,可用于電源為220V與380V電源頻率50/60Hz電網(wǎng)?!鹉芘c國內(nèi)外各種控制儀表(溫控儀)、微機的輸出信號直接接口?!疬m用于阻性負載、感性負載、變壓器一次側(cè)等各種負載類型?!鹁哂熊泦榆浲V构δ?,減少對電網(wǎng)的沖擊干擾,使主電路更加安全可靠?!痱?qū)動能力強,每路可以輸出800毫安的電流,可以驅(qū)動4000A可控硅?!鹁哂腥毕?、過流、過壓保護功能。天津哪些是模塊量大從優(yōu)EconoBRIDGE 整流器模塊應用在完善的Econo2 和 Econo4 封裝中。

    圖5為本實用新型實施例提供的溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖。圖中:1為多晶硅層,2為氧化層,21為***氧化層,22為第二氧化層,23為**氧化層,3為光刻膠。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。圖4示出了本實施例提供的一種溝槽柵igbt示意圖,包括半導體襯底和設置在半導體襯底表面內(nèi)的兩個溝槽柵結(jié)構(gòu),兩個溝槽柵結(jié)構(gòu)對稱,溝槽柵結(jié)構(gòu)設置有多晶硅層1和包圍多晶硅層1的氧化層2,氧化層包括***氧化層21和第二氧化層22,***氧化層21設置在溝道區(qū),第二氧化層22設置在非溝道區(qū),第二氧化層22的厚度大于***氧化層21的厚度,與現(xiàn)有技術相比,本實施例提供的溝槽柵igbt氧化層2的厚度大于現(xiàn)有技術中的厚度,因此本實施例的結(jié)電容更小。需要說明的是,本實施例減小結(jié)電容的方式是通過增加溝槽內(nèi)非溝道區(qū)第二氧化層22的厚度,***氧化層21厚度不變,因此本實施例在減小結(jié)電容的同時并不會造成器件整體性能變差。

    本實用新型涉及半導體領域,具體涉及一種溝槽柵igbt。背景技術:igbt隨著結(jié)構(gòu)設計和工藝技術的升級,主流產(chǎn)品已經(jīng)從平面柵極(如圖1所示)升級成溝槽柵極(如圖2所示),現(xiàn)有技術中溝槽柵結(jié)構(gòu)的制作方法如圖3所示,先在半導體襯底上光刻出溝槽,接著在該溝槽內(nèi)沉積**氧化層23(圖3a所示),然后去除該**氧化層23(圖3b所示),然后繼續(xù)在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(圖3c所示),接著沉積多晶硅層1(圖3d所示),接著去除表面多余的多晶硅層1(圖3e所示),溝槽柵結(jié)構(gòu)雖然相比平面柵結(jié)構(gòu)電流密度大幅度提升,但由于溝槽柵結(jié)構(gòu)帶來的結(jié)電容的大幅度上升,造成目前的溝槽柵igbt不能廣泛應用于高頻場景。技術實現(xiàn)要素:本實用新型為解決現(xiàn)有技術中溝槽柵igbt結(jié)電容較大的問題,提供了一種新的溝槽柵igbt結(jié)構(gòu)。本實用新型采用的技術方案如下:一種溝槽柵igbt,包括:半導體襯底,所述半導體襯底表面內(nèi)設置兩個溝槽柵結(jié)構(gòu);兩個溝槽柵結(jié)構(gòu),兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)對稱,溝槽內(nèi)設置有多晶硅層和包圍所述多晶硅層的氧化層,所述氧化層包括***氧化層和第二氧化層,所述***氧化層設置在溝道區(qū),所述第二氧化層設置在非溝道區(qū),所述第二氧化層的厚度大于所述***氧化層的厚度。進一步地。高性價比 ?全程采用X射線100%監(jiān)測生產(chǎn),保 障產(chǎn)品的高性能和使用壽命 ? 使用銅基板,便于快捷安裝。

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