隨著近年來**工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來,下面就來一起看看2019年電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體的發(fā)展現(xiàn)狀吧!文章來源:紐瑞德隨著近年來**工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。近年來,隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),我國已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。目前,我國電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)**相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。標(biāo)準(zhǔn)氣體又分為單標(biāo)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體。目前,標(biāo)準(zhǔn)氣體基本滿足了我國石油、化工、**、傳感器校準(zhǔn)等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用。但對活性較強(qiáng)的標(biāo)準(zhǔn)氣。便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。福建乙烷標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家供應(yīng)
進(jìn)行量值仲裁等。大型乙烯廠、合成氨廠及其它石化企業(yè),在裝置開車、停車和正常生產(chǎn)過程中需要幾十種純氣和幾+百種多組分標(biāo)準(zhǔn)混合氣,用來校準(zhǔn)、定標(biāo)生產(chǎn)過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產(chǎn)品質(zhì)量的儀器。標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測,**的有機(jī)物測量,汽車排放氣測試,天然氣BTU測量,液化石油氣校正標(biāo)準(zhǔn),超臨界流體工藝等。標(biāo)準(zhǔn)氣視氣體組分?jǐn)?shù)區(qū)分為二元、三元和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體;配氣準(zhǔn)度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2MI配氣允差標(biāo)準(zhǔn),但各公司均有企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。組分的**低濃度為10-6級,組分?jǐn)?shù)可多達(dá)20余種配制方法可采用重量法,然后用色譜分析校核,也可按標(biāo)準(zhǔn)傳遞程序進(jìn)行傳遞。3、電子氣體(Electronicgases):半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。4.外延氣體(Cpita***algases):在仔細(xì)選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積。二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體品牌推薦成都便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
在標(biāo)準(zhǔn)氣體研究階段,要考察所研究的標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性,一般采用氣相色譜法在相同的操作條件下,進(jìn)行測定,以考察標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性,通常用平均值的一致性檢驗(yàn)方法來判斷。由于均勻性是考察同一瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體在制備完以后,多長時間量值達(dá)到穩(wěn)定,由有限次測定得到的平均值,在方法的不確定范圍內(nèi)應(yīng)該是不***的。如果差異是***的,這個因素就是標(biāo)準(zhǔn)氣體的不均勻性造成的。標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性編輯前言標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是指:“具有足夠均勻并已經(jīng)很好地確定某一種或多種特性的物質(zhì)或材料,用于校準(zhǔn)儀器、評價(jià)測量方法或確定物質(zhì)的量值?!睒?biāo)準(zhǔn)氣體是氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),由于標(biāo)準(zhǔn)氣體具有一定的有效期,因此,標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性是配制和使用過程中的關(guān)鍵問題。眾所周知,裝入高壓容器(鋼瓶)中的標(biāo)準(zhǔn)氣體的一個重要條件是在保存和使用過程中其量值不應(yīng)發(fā)生變化。實(shí)際上,標(biāo)準(zhǔn)氣體中成分氣體或不純物與容器內(nèi)壁接觸時往往引起吸附、解吸、化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象,而使其量值隨時間發(fā)生變化,在含量越低,組成成分越復(fù)雜時,這種變化就越大。標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性研究如下:穩(wěn)定性影響因素[2]標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性在很大程度上與容器的材料特性、容器內(nèi)壁的預(yù)處理、氣體本身的化學(xué)特性和使用條件有著密切關(guān)系。
所以滲透率也隨溫度改變而改變。因此,在測定滲透率時,必須將干燥瓶放入恒溫水浴中,溫度控制精度要達(dá)到±011℃。在恒溫放置過程中,每隔一定的時間(至少12小時)用精密天平快速稱量滲透管一次(必須在10分鐘內(nèi)稱完),相鄰兩次的重量差就是滲透管在該時間段的滲透量。測出滲透量后,就可用下式求出該滲透管的滲透率。740)">式中:G:滲透率(Lg?min);△G:相鄰兩次稱量的重量差(mg);△S:相鄰兩次稱量的時間間隔(min);實(shí)際測定時,記錄一系列稱量和時間數(shù)據(jù),用上式計(jì)算滲透率并求其平均值。或以稱量數(shù)據(jù)為縱坐標(biāo),時間為橫坐標(biāo),繪制滲透率的特性曲線,所得直線的斜率即為滲透率。(2)滲透管動態(tài)配氣裝置用已知滲透率的滲透管配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的裝置如圖6所示。740)">將滲透管放在氣體發(fā)生瓶中,再將氣體發(fā)生瓶放入恒溫水浴中,恒溫水浴的溫度要與測定滲透率時的溫度相同(一般為25±1℃),這樣就可不作溫度校正。稀釋氣(壓縮空氣)經(jīng)**、活性炭和氫氧化鈉凈化器2除去水分和雜質(zhì)后,再經(jīng)流量控制閥和流量計(jì)3進(jìn)入氣體發(fā)生瓶7(即混合器)中,將滲透出來的氣體分子帶出,就得到標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度可由下式求出(在25℃和一個大氣壓下)。740)">式中:z:所配標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度(ppm)。四川二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
以盡量減少由于線性不好而引起的不確定度,特別對線性范圍比較窄的測量法,此點(diǎn)龍為重要。當(dāng)含量不能做到充分接近時,**好在被測樣品兩側(cè)各選擇一個標(biāo)準(zhǔn)氣體,分別測定后取平均值作為測量結(jié)果。4、不確定度標(biāo)準(zhǔn)氣體一旦選擇,其不確定度對被測組分的結(jié)果而言就成為系統(tǒng)誤差。因此,從不確定度合成的角度考虎慮,不確定度越小越好,如果其數(shù)值比預(yù)期分析結(jié)果小三倍,則可忽略不計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)氣體分析方法編輯分析標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法很多,但常用的主要有:氣相色譜法、化學(xué)發(fā)光法、非色散紅外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。氣相色譜氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機(jī)氣體,甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的絕大部分有機(jī)氣體的分析。通過直接法、濃縮法、反應(yīng)法等樣品處理技術(shù)的應(yīng)用,分析的含量范圍為10-9~。所以,氣相色譜法也是分析標(biāo)準(zhǔn)氣體中應(yīng)用**多、**普遍的方法?;瘜W(xué)發(fā)光法化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對組分進(jìn)行分析的方法,具有靈敏度高,選擇性好,使用簡單方便、快速等特點(diǎn)。因些,適用于硫化物、氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析。一氧化氮標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體現(xiàn)貨
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