1. 金屬靶材

　　鎳靶，鈦靶，鋅靶，鉻靶，鎂靶，鈮靶，錫靶，鋁靶，銦靶，鐵靶，鋯靶，硅靶，銅靶，鉭靶，鍺靶，銀靶，鈷靶，金靶，釓靶，鑭靶，釔靶，鈰靶，鉿靶，鉬靶，鐵鎳靶，鎢靶，不銹鋼靶，鋯鋁靶，鎳鐵靶，鈦鋁靶，鐵鈷靶，鎳鉻靶，銅銦鎵靶，鋁硅靶，鋅鋁靶等濺射靶材。

　　2. 陶瓷靶材

　　ITO靶、AZO靶，IGZO靶，氧化鎂靶、氧化釔靶，氧化鐵靶，氧化鐵靶、氧化鎳靶，氧化鉻靶、氧化鋅靶，二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二硫化鉬靶，二氧化鉿靶，二硼化鈦靶，二硼化鋯靶，三氧化鎢靶，三氧化二鋁靶，五氧化二鉭靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化鈦靶，碳化硅靶，鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶等陶瓷濺射靶材.

　　3.合金靶材

　　鈦鋁Ti-Al、鋁硅Al-Si、鋁銅Al-Cu、鋁鈦Al-Ti、銀銅Ag-Cu、鋁鎂Al-Mg、鈷鐵硼Co-Fe-B、銅銦鎵Cu-In-Ga、鐵錳Fe-Mn、銦錫In-Sn、鈷鐵Co-Fe、鎳鈷Ni-Co、鎳鐵Ni-Fe、鎳鉻Ni-Cr、鎳鋯Ni-Zr、鎳鋁Ni-Al、鎳銅Ni-Cu、鎳釩Ni-V、鎢鈦W-Ti、鋅鋁Zn-Al、鋁鈦硼Al-Ti-B、鋁鈧Al-Sc、釩鋁 V-Al 、鐵V-Al-Fe、銅錫Cu-Sn、鋯鋁Zr-Al、釩鋁V-Al、硼鐵B-Fe等。