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作者:[195p4r] 發(fā)布時間:[2024-05-19 23:51:02]

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⑥管式爐氣壓表當氣壓穩(wěn)定時,關閉管式爐進氣閥,打開出氣閥,抽真空到-0.1,關管式爐出氣閥。⑦重復5步兩次。⑧關機械泵,打開管式爐進氣閥

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使用惰性氣體作為工作氣體時①接通工作氣體氣路,將管式爐氣體出口端連接機械泵。②打開管式爐進氣閥,合上真空泵電源,打開出氣閥(注意把住法蘭,避免爐管受力過大),抽空剛玉管和氣體管路。③當管式爐真空表到-0.1(指針到盡頭時),關閉出氣閥,關閉進氣閥。④逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥,順時針旋動旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.004MPa(2小格)。

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為生長制備優(yōu)異性能材料或者對材料器件做物理化學工藝處理,采用真空封管熱處理工藝是目前廣泛采用的方式,該方法既可用于材料固相生長,又可用于材料器件制備熱處理工藝,具有快速、易于操作、安全可靠、工藝可控,生長質量高等突出特點。(HHT真空封管系統(tǒng):高真空封管機+高溫管式爐+真空泵)

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